Методы испытаний чистых помещений

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

 Методы испытаний

ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

ISO 14644-3:2005
Cleanrooms and associated controlled environments – Part 3: Test methods
(IDT)

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации – ГОСТ Р1.0-2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по контролю микро загрязнений» (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 декабря 2007 г. № 616-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-3:2005«Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний» (ISO 14644-3:2005 «Cleanrooms and associatedcontrolled environments – Part 3: Test methods»)

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок – в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра(замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования – на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

Содержание

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

4 Методы испытаний

4.1 Методы испытаний чистых помещений

4.1.1 Обязательные методы

4.1.2 Дополнительные методы

4.2 Характеристики методов испытаний

4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц

4.2.2 Анализ воздушных потоков

4.2.3 Перепад давления

4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации

4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока

4.2.6 Однородность температуры и влажности

4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов

4.2.8 Осаждение частиц

4.2.9 Время восстановления

4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций

5 Протокол испытаний

Приложение А (справочное)

Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их проведения

Приложение В (справочное)

Методы испытаний

Приложение C (справочное)

Оборудование для проведения испытаний

Приложение D (справочное)

Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Федерации ссылочным международным стандартам

Библиография

Введение

Во многих отраслях промышленности и сферах действия человека предъявляются специальные требования к чистоте воздуха в помещениях. Эти требования выполняются за счет применения чистых помещений, в которых концентрация аэрозольных частиц не должна превышать установленных пределов. Значения этих пределов обусловлены особенностями технологических процессов, выполняемых в чистых помещениях, и требованиями к выпускаемой в них продукции. Чистые помещения широко применяются в электронной, космической, фармацевтической, пищевой промышленности, при производстве медицинских изделий, в больницах и т.п.

Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля чистых помещений и может быть использован для установления определения параметров чистых помещений с учетом других стандартов серии ИСО 14644.

Примечание – Настоящий стандарт устанавливает не все методы контроля параметров чистых помещений. Методы контроля и оборудование для специфической продукции и процессов установлены в других стандартах, разработанных ИСО/ТК 209. Например, методы контроля при работе с живыми организмами – в стандартах серии ИСО 14648, оценки технологических характеристик чистых помещений – в стандарте ИСО 14644-4, методы контроля изоляторов – в стандарте ИСО 14644-7. Дополнительно могут использоваться и другие стандарты.

Международный стандарт ИСО 14644-3 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209, «Cleanrooms and associated controlled environments-Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды»

Серия Международных стандартов ИСО 14644 имеет общее наименование«Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды» и включает в себя следующие стандарты:

– 14644-1 Классификация чистоты воздуха;

– 14644-2 Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14464-1;

– 14644-3 Методы испытаний;

– 14644-4 Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;

– 14644-5 Эксплуатация;

– 14644-6 Термины и определения;

– 14644-7 Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);

– 14644-8 Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

Часть 3

Методы испытаний

Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods

Дата введения – 2008-10-01

1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых помещений и чистых зон для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и не одно направленным потоком воздуха) и для трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксплуатируемое).

Стандарт устанавливает требования к оборудованию и методикам испытаний.Для тех случаев, когда особенности чистого помещения или чистой зоны оказывают влияние на метод испытаний, предложены альтернативные методики. Для некоторых видов испытаний могут использоваться различные методики и типы оборудования.Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут применяться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не всегда обеспечивают эквивалентность измерений.

В настоящем стандарте не рассматриваются методы испытаний продукции и технологических процессов в чистых помещениях или изолирующий устройствах.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ИСО 7726:1998 Эргономика термальной среды. Приборы для измерения физических величин

ГОСТИСО 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.Часть 1. Классификация чистоты воздуха

ГОСТР ИСО 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1

ГОСТР ИСО 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 Общая часть

3.1.1 чистое помещение (cleanroom):Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости,контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление[ ИСО 14644-1 (пункт 2.1.1)].

3.1.2 чистая зона (clean zone): Пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например,температура, влажность и давление [ ИСО 14644-1 (пункт 2.1.2)].

3.1.3 система чистого помещения (installation): Чистое помещение или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.3)].

3.1.4 изолирующее устройство (separative device): Оборудование, которое за счет конструкционных или динамических свойств обеспечивает необходимое разделение внутреннего объема устройства и окружающей его среды.

Примечание – Примерами изолирующих устройств являются укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения.

3.2 Аэрозольные частицы

3.2.1 генератор аэрозолей (aerosol generator): Устройство, позволяющее за счет теплового,гидравлического, пневматического, акустического или электростатического эффектов генерировать с постоянной концентрацией частицы, размеры которых соответствуют установленному диапазону (например, от 0,05 до 2 мкм).

3.2.2 аэрозольная частица (airborne particle): Взвешенный в воздухе твердый или жидкий объект, живой или неживой, с размерами, как правило, от 1 до 100 мм.

Примечание – Классификация частиц приведена в ИСО 14644-1 (пункт 2.2.1).

3.2.3 счетная медиана диаметров частиц; СМД (count median particle diameter, CMD):Усреднённый диаметр частицы, полученный из распределения числа частиц.

Примечание – Счетная медиана определяется следующим образом: при распределении половина частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина – диаметр больший, чем счетная медиана.

3.2.4 макро частица (macroparticle): Частица с эквивалентным диаметром более 5мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.6)].

3.2.5 М-дескриптор (M-descriptor): Полученное или заданное количество макро частиц в 1 м3 воздуха, эквивалентный диаметр которых зависит от используемого метода измерения.

Примечание – М-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). М-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.2)].

3.2.6 медиана диаметров частиц по массе (count median particle diameter, CMD):Диаметр частицы, определение которого основано на распределении массы частиц как функции их диаметра.

Примечание – Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в распределении имеет диаметр меньший,а другая половина – диаметр больший, чем массовая медиана.

3.2.7 концентрация частиц (particle concentration): Число частиц в единице объема воздуха.

3.2.8 размер частицы (particle size): Диаметр сферы, сигнал от которой в контрольном приборе, определяющем размер частиц, равен сигналу от оцениваемой частицы.

3.2.9 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров [ИСО 14644-1, (подраздел 2.2.4)].

3.2.10 контрольный аэрозоль (test aerosol): Суспензия взвешенных в воздухе твердых и(или) жидких частиц с известными концентрацией и распределением по размеру.

3.2.11 U-дескриптор (U- descriptor): Полученное или заданное количество частиц, включая ультра мелкие частицы, в 1 м3 воздуха.

Примечание – U-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). U-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО14644-1, (пункт 2.3.1)].

3.2.12 ультра мелкая частица (ultrafine particle): Частица с эквивалентным диаметром менее 0,1 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.5)].

3.3 Фильтры очистки воздуха и системы фильтрации

3.3.1 испытание с использованием аэрозоля (aerosol challenge): Испытание фильтра или установленной системы фильтрации при помощи контрольного аэрозоля.

3.3.2 допустимая утечка (designated leak): Максимально допустимый проскок частиц, установленный по соглашению между заказчиком и исполнителем как утечка,определяемая путем сканирования с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей.

3.3.3 система разбавления (dilution system): Система, в которой аэрозоль с целью уменьшения концентрации частиц смешивается в известном соотношении объемов с воздухом, не содержащим частиц.

3.3.4 система фильтрации (filter system): Система, состоящая из фильтра, рамы и других элементов крепления фильтра или других фильтродержателей.

3.3.5 финишный фильтр (final filter): Фильтр последней ступени очистки, через который проходит воздух, перед тем как попасть в помещение.

3.3.6 установленная система фильтрации (installed filter system): Система фильтрации,вмонтированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.

3.3.7 испытание целостности установленной системы фильтрации (installed filter system leakage test): Испытание, для проверки правильности установки фильтров, отсутствия утечек в обход фильтров, а также самих фильтров и их креплений на содержание дефектов и утечек.

3.3.8 утечка (leak): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концентрации после фильтра из-за нарушения целостности в системы фильтрации.

3.3.9 сканирование (scanning): Метод обнаружения утечек в системе фильтрации, при котором пробоотборником фотометра аэрозолей или дискретного счетчика частиц совершают перекрывающиеся движения вдоль определенной испытуемой плоскости.

3.3.10 стандартная утечка (standard leak penetration): Проскок,определяемый с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей,имеющих стандартную скорость отбора проб, когда пробоотборник находится напротив места утечки.

Примечание – Значение проскока равно отношению концентрации частиц в воздухе после фильтра к концентрации частиц перед фильтром.

3.4 Поток воздуха

3.4.1 кратность воздухообмена (air exchange rate): Интенсивность обмена воздуха,определяемая как число обменов воздуха в единицу времени, равная отношениюобъема воздуха, подаваемого в единицу времени, к объему пространства, куда он подается.

3.4.2 средний расход воздуха (average airflow rate): Среднее значение объема воздуха, подаваемого в единицу времени, используемое для определениякратности воздухообмена в чистом помещении или чистой зоне.

Примечание – Расход воздуха выражается в м3/н.

3.4.3 плоскость измерений (measuring plane): Плоскость поперечного сечения, в которой проводятся испытания или измеряется скорость потока воздуха.

3.4.4 не однонаправленный поток воздуха (non-unidirectional aiflow): Поток воздуха, распределение скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха, поступающего в чистое помещение или чистую зону, с внутренним воздухом [ИСО 14644-4 (пункт 3.6)].

3.4.5 расход приточного воздуха (supply aiflow rate): Объем воздуха, подаваемого в чистое помещение (чистую зону) через финишные фильтры или воздуховоды в единицу времени.

3.4.6 полный расход воздуха (total aiflow rate): Объем воздуха, который проходит через чистое помещение(чистую зону) в единицу времени.

3.4.7 однонаправленный поток воздуха (unidirectional airflow): Поток воздуха проходящего с постоянной скоростью и имеющего приблизительно параллельные линии тока по всему поперечному сечению чистой зоны.

3.4.8 однородность потока воздуха (uniformity of aiflow): Характеристика однонаправленного потока воздуха, когда значения скоростей воздуха в различныхточках находятся в установленных пределах относительно средней скорости потока воздуха.

3.5 Статическое электричество

3.5.1 время разряда (discharge time): Время, необходимое для уменьшения напряжения до начального уровня (положительного или отрицательного).

3.5.2 напряжение смешения (offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на первоначально незаряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воздух окружающей среды.

3.5.3 рассеивание статического электричества (static-dissipative property): Снижение количества электростатического электричества на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие проводимости или других механизмов до установленного значения или нулевого уровня.

3.5.4 поверхностное напряжение (surface voltage level): Положительный или отрицательный электрический заряд на рабочей поверхности или поверхности продукта, накапливаемый при использовании соответствующего оборудования.

3.6 Контрольно-измерительное оборудование и способы отбора проб

3.6.1 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство, для определения массовой концентрации аэрозольных частиц, работа которого основана на принципе рассеивания света.

3.6.2 не изокинетический отбор проб (anisokinetic sampling): Условие отбора проб, при котором средняя скорость воздуха, поступающего в пробоотборник,значительно отличается от средней скорости однонаправленного потока воздуха в точке отбора пробы.

3.6.3 каскадный импактор (cascade impactor): Устройство для отбора проб, в котором накапливаются частицы, отбираемые из аэрозоля, на серии накопительных пластин, используя принцип импакции (осаждения).

Примечание – Через каждую последующую накопительную пластину поток аэрозоля проходит с большей скоростью, чем через предыдущую, в результате чего на ней осаждаются более мелкие частицы, чем на предыдущей накопительной пластине.

3.6.4 счетчик ядер конденсации (condensation nucleus counter, CNC): Устройство, которое позволяет увеличивать размеры ультра мелкой частицы за счет эффекта конденсации с целью их последующего счета с использованием оптических методов счета частиц.

3.6.5 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученной концентрации частиц в определенном диапазоне размеров к действительной концентрации таких частиц.

3.6.6 дифференциальный анализатор подвижности (differentialmobility analyzer,DMA): Устройство,позволяющее получить распределение частиц по размеру, работа которого основана на принципе подвижности частиц в электрическом поле.

3.6.7 секция диффузионной батареи (diffusion battery element): Элемент многоступенчатого устройства для сортировки частиц по размерам, использующий эффект диффузии для удаления наименьших частиц из потока аэрозоля.

3.6.8 дискретный счетчик частиц (discrete-particle counter,DPC): Устройство, для счета частиц в определенном объеме воздуха в зависимости от их размера.

3.6.9 фоновый счет (false count, background noise count,zero count): Результат счета частиц дискретным счетчиком, получаемый при отсутствии частиц, вызванный влиянием внешних и внутренних электронным наводкам.

3.6.10 расходомер с раструбом,расходомер (flowhood with flowmeter): Устройство,полностью накрывающее фильтр или диффузор, с оборудованием для прямого измерения расхода воздуха через каждый финишный фильтр или воздушный диффузор в чистом помещении или чистой зоне.

3.6.11 изоаксиальный отбор проб (iso-axial sampling):Отбор проб, при котором направление воздушного потока на входе в пробоотборник совпадает с направлением однонаправленного потока, подлежащего отбору.

3.6.12 изокинетический отбор проб (isokinetic sampling): Отбор проб, при котором средняя скорость воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока в точке отбора.

3.6.13 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц (particle size cutoff device): Устройство,помещаемое на входе в дискретный счетчик частиц или счетчик ядер конденсации для удаления частиц размером менее установленного.

3.6.14 пороговый размер (threshold size): Минимальный размер частицы,выбранный для определения концентрации частиц с размерами, большими или равными этому значению.

3.6.15 определение размера частицы по времени пролета (time-of-flight particle size measurement): Определение аэродинамического диаметра частицы путем измерения времени, необходимого для ее прохождения расстояния между двумя плоскостями.

Примечание – Это измерение основано на эффекте изменения скорости частиц, попадающих в поток с градиентом скорости воздуха.

3.6.16 виртуальный импактор (virtual impactor): Устройство для разделения по размеру частиц, которые под действием внутренних сил сталкиваются с предполагаемой (виртуальной) поверхностью.

Примечание – Большие частицы проходят через некоторую предполагаемую поверхность в пространстве стандартного объема, в то время как маленькие частицы отклоняются вместе с основной частью воздушного потока.

3.6.17 демонстрационная пластина (witness plate): Чувствительный к загрязнения мматериал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.

3.7 Состояния чистого помещения или чистой зоны (Occupancy states)

3.7.1 построенное (as-built):Состояние, в котором монтаж чистого помещения завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.1)].

3.7.2 оснащенное (at-rest):Состояние, в котором чистое помещение укомплектовано оборудованием и действует по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует. [ИСО14644-1 (пункт 2.4.2)].

3.7.3 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.3)].

4 Методы испытаний

4.1 Методы испытаний чистых помещений

4.1.1 Обязательные методы

Определение концентрации аэрозольных частиц (см. таблицу 1) должно проводиться для оценки класса чистого помещения в соответствии с ИСО 14644-1 с периодичностью, установленной ИСО 14644-2.

Таблица 1 – Обязательные методы для чистых помещений или чистых зон

Наименование метода

Пункт настоящего стандарта

Ссылка на другие стандарты

Область применения

Методика

Оборудование

Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации чистых помещений и оборудования для очистки воздуха

4.2.1

В.1

C.1

ИСО 14644-1,

ИСО 14644-2

4.1.2 Дополнительные методы

В таблице 2 указаны другие методы испытаний чистых помещений. Эти испытания могут проводиться в каждом из трех состояний чистого помещения. Эти методы не являются исчерпывающими. Не все из приведенных методов могут быть включены в программу испытаний. Программа и методы испытаний выбираются по согласованию между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут повторяться периодически при текущем контроле (см. ИСО 14644-2). Перечень методов испытаний и руководство по выбору методов приведен в приложении A.Описание методов испытаний, приведено в приложении Bи имеет лишь общий рекомендательный характер. Детально методы испытаний должны быть разработаны с учетом специфики их конкретного применения.

Таблица 2 – Дополнительные методы для чистых помещений или чистых зон

Контролируемый параметр	Пункт настоящего стандарта			Ссылка на другие стандарты
Контролируемый параметр	Область применения	Методика	Оборудование	Ссылка на другие стандарты
Концентрация ультра мелких аэрозольных частиц	4.2.1	B.2	C.2	ИСО 14644-1
Концентрация аэрозольных макро частиц	4.2.1	B.3	C.3	ИСО 14644-1
Поток воздуха а)	4.2.2	B.4	C.4	ИСО 14644-1, ИСО 14644-2
Перепад давления а)	4.2.3	B.5	C.5	ИСО 14644-1, ИСО 14644-2
Целостность установленной системы фильтрации	4.2.4	B.6	C.6	ИСО 14644-2
Направление потока воздуха, визуализация потока	4.2.5	B.7	C.7	ИСО 14644-2
Температура	4.2.6	B.8	C.8	ИСО 7726
Влажность	4.2.6	B.9	C.9	ИСО 7726
Статическое электричество и генерация ионов	4.2.7	B.10	C.10
Осаждение частиц	4.2.8	B.11	C.11
Время восстановления	4.2.9	B.12	C.12	ИСО 14644-2
Герметичность ограждающих конструкций	4.2.10	B.13	C.13	ИСО 14644-1, ИСО 14644-2
а) Контроль этих параметров предусмотрен ИСО 14644-2. Дополнительные методы испытаний приведены не в порядке их значимости. Последовательность выполнения испытаний может определяться требованиями нормативных документов или соглашением между заказчиком и исполнителем.

4.2 Характеристики методов испытаний

4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц

Это испытание проводится для определения чистоты воздуха и может включать в себя:

a)классификацию[см.В.1(приложение B)];
b)определениеконцентрацииультрамелких частиц (дополнительный метод) [см. 2 (приложение B)];
c)определениеконцентрациимакрочастиц (дополнительный метод) [см. 3 (приложение B)].Испытания b) и c) могут быть использованы для получения дополнительной информации или как основание для предъявления специальных требований, но не могут быть использованы для целей классификации.

4.2.2 Анализ воздушных потоков

Это испытание проводится для определения расхода приточного воздуха в чистых помещениях или чистых зонах с не однонаправленным потоком и для определения распределения скорости воздуха в чистых помещениях или чистых зонах с однонаправленным потоком. Обычно проводятся измерения либо скорости, либо расхода воздушного потока, а результаты выражаются одним из трех параметров:средней скоростью, средним расходом или полным расходом воздуха. Полный расход воздуха может быть, в свою очередь, быть использован для расчета кратности воздухообмена для чистых помещений или чистых зон с не однонаправленным потоком воздуха. Скорость воздуха должна определяться в чистых помещениях или чистых зонах с однонаправленным потоком. Методики измерений воздушного потока приведены в B.4 (приложение B).

4.2.3 Перепад давления

Цель измерения перепада давления – подтвердить способность чистого помещения поддерживать разность давлений между чистым помещением и окружающей средой. Измерение перепада давления следует проводить после того, как установлено соответствие требования к скорости, расходу, однородности и другим контролируемым параметрам воздушного потока. Подробнее процедура измерения перепада давлений приведена в B.5 (приложение B).

4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации

Это испытание проводится для того, чтобы подтвердить, что финишная высокоэффективная система фильтрации установлена надлежащим образом. В ходе испытаний не должно быть обнаружено утечек в обход фильтров, отсутствия дефектов фильтра (маленьких отверстий или других повреждений в теле фильтра и местах его примыкания к раме), утечек (через раму фильтра, посадочное место и конструкции крепления). При испытаниях не проявляется эффективность системы фильтрации. Испытания выполняются путем подачи контрольного аэрозоля на вход фильтров и одновременного сканирования поверхности фильтров и их креплений или осуществления отбора пробы после фильтров в воздуховоде. В B.6 (приложение B)приведены два различных метода испытаний.

4.2.5 Направление потока воздуха,визуализация потока

Цель данного испытания – подтвердить, что направление потока, картина распределения потоков или и то и другое соответствуют проекту или соответствующей спецификации. При необходимости пространственные характеристики воздушного потока могут быть также подтверждены. Методика испытаний приведена вB.7 (приложение B).

4.2.6 Однородность температуры и влажности

Цель данных испытаний – показать способность системы вентиляции и кондиционирования поддерживать в зоне испытаний уровень температуры и влажности(выраженной относительной влажностью или точкой росы) в заданных пределах в течение периода времени, установленного заказчиком. Методики испытаний приведены в B.8 и B.9(приложение B).

4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов

Целью испытаний является определение уровней статического напряжения на различных предметах, способности материалов рассеивать статическое электричество и характеристик генераторов ионов (ионизаторов), использующихся для регулирования статического напряжения в чистых помещениях. При измерении статического электричества определяются статическое напряжение на рабочих поверхностях и поверхностях продукта, способность полов, поверхностей рабочих мест и других объектов, рассеивать статическое электричество. Исследование генерации ионов выполняется для оценки способности ионизаторов снижать статическое напряжение на поверхностях. Методика испытаний приведена в B.10 (приложение B).

4.2.8 Осаждение частиц

Целью испытания являются оценка количества (числа или массы частиц) или влияния (по рассеянию света или покрытию поверхности) частиц, осевших на поверхность. Некоторые из методик испытания приведены в B.11(приложение B).

4.2.9 Время восстановления

Это испытание проводится для определения способности чистого помещения восстанавливать заданный класс чистоты в течение определенного времени после кратковременного внесения источника загрязнений. Это испытание не рекомендуется проводить для чистых помещений с однонаправленным потоком воздуха. Методика испытаний приведена в B.12 (приложение B).

При использовании в процессе испытаний искусственных аэрозолей не следует допускать остаточных загрязнений чистых помещений.

4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций

Это испытание выполняется для обнаружения возможности проникания загрязненного воздуха в чистые помещения из окружающих зон через соединения,элементы герметизации или двери. Методика испытаний приведена в B.13 (приложение B).

5 Протокол испытаний

Результат каждого испытания должен быть занесен в протокол испытаний,который должен содержать следующую информацию:

a)наименование иадрес предприятия, проводившего испытания, и дату проведения испытаний;
b) номер и дату введения настоящего стандарта;
c)подробную информацию о месте расположения чистого помещения или чистой зоны, в которых проводилось испытание (включая, при необходимости, информацию о прилегающих зонах), с указанием мест расположения всех точек отбора проб;
d)критерии,установленные для чистого помещения или чистой зоны, включая класс чистоты согласно ИСО, соответствующее состояние чистого помещения или чистой зоны и рассматриваемые размеры частиц;
e)методику испытаний, включая все особые условия проведения испытания и отклонения от метода испытаний, идентификацию измерительного оборудования и действующие сертификаты его калибровки;
f)результаты испытаний, включая данные, указанные в соответствующих разделах приложения В,а также заключение, касающееся соответствия установленным требованиям;
g)другую информацию, касающуюся конкретного вида испытаний, в соответствии с рекомендациями, содержащимися в соответствующих разделах приложения B.

Приложение A
(справочное)

Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их проведения

A.1 Общие положения

Приведенные в настоящем стандарте методы испытаний могут использоваться для проверки соответствия параметров чистого помещения установленным требованиям, а также для проведения периодического контроля.

Выбор методов испытаний зависит от конструкции чистого помещения, его состояния и вида аттестации.

Последовательность проведения испытаний должна быть заблаговременно согласована между заказчиком и исполнителем, и должна позволять уменьшить ненужную работу в случае несоответствия критериев заданным требованиям.

A.2 Перечень контролируемых параметров испытаний

В таблице A.1 приведен рекомендуемый перечень контролируемых параметров испытаний и применяемого оборудования.Последовательность проведения испытаний должна быть согласована межд заказчиком и исполнителем.

Таблица A.1 – Рекомендуемый перечень контролируемых параметров испытаний чистых помещений и последовательность проведения испытаний

Отметка о выборе контролируемых параметров испытаний и их очередности а)	Контролируемый параметр	Пункт приложения B с описанием методики	Отметка о выборе оборудования в)	Тип оборудования	Пункт приложения C с описанием оборудования	Примечание
	Концентрация аэрозольных частиц при классификации и аттестации	В.1		Дискретный счетчик частиц	C.1
	Концентрация ультра мелких аэрозольных частиц	B.2		Счетчик ядер конденсации	С.2.1
				Дискретный счетчик частиц	С.2.2
				Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц	С.2.3
	Концентрация аэрозольных макро частиц	B.3			C.3
	Концентрация аэрозольных макро частиц с предварительным накоплением	B.3.3.2 (приложение B)		Микроскоп для счета частиц на накопительной фильтровальной бумаге	С.3.1
		B.3.3.2 (приложение B)		Каскадный импактор	С.3.2
	Концентрация аэрозольных макро частиц без предварительного накопления	B.3.3.3 (приложение B)		Дискретный счетчик частиц	С.3.3
		B.3.3.3 (приложение B)		Время пролетный счетчик частиц	С.3.4
	Поток воздуха	B.4			C.4
	Скорость потока воздуха в чистых помещениях (чистых зонах) с однонаправленным потоком	B.4.2.2 и B.4.2.3 (приложение B)		Термо анемометр	C.4.1.1
				Ультразвуковой анемометр, трех размерный или эквивалентный ему прибор	C.4.1.2
				Крыльчатый анемометр	C.4.1.3
				Трубки Пито и манометр	C.4.1.4
	Скорость приточного воздуха в чистых помещениях (чистых зонах) с не однонаправленным потоком	B.4.3.3 (приложение B)		Термо анемометр	C.4.1.1
				Ультразвуковой анемометр, трех размерный или эквивалентный ему прибор	C.4.1.2
				Крыльчатый анемометр	C.4.1.3
				Трубки Пито и манометр	C.4.1.4
	Расход воздуха после установленных фильтров	B.4.3.2		Раструб для сбора полного потока воздуха с расходомером	C.4.2.1
				Диафрагменный расходомер	C.4.2.2
				Расходомер Вентури	C.4.2.3
	Расход воздуха в приточном воздуховоде	B.4.2.5		Раструб для сбора полного потока воздуха с расходомером	C.4.2.1
				Диафрагменный расходомер	C.4.2.2
				Расходомер Вентури	C.4.2.3
				Трубки Пито и манометр	C.4.1.4
	Перепад давления	B.5		Электронный микроманометр	C.5.1
				Наклонный манометр	C.5.2
				Механический датчик перепада давления	C.5.3
	Целостность установленной системы фильтрации	B.6			C.6
	Целостность установленной системы фильтрации (метод сканирования)	B.6.2 и B.6.3		Линейный фотометр аэрозолей	C.6.1.1
				Логарифмический фотометр аэрозолей	C.6.1.2
				Дискретный счетчик частиц	C.6.2
				Генератор аэрозолей	C.6.3
				Вещества для производства контрольных аэрозолей	C.6.4
				Система разбавления	C.6.5
				Счетчик ядер конденсации	С.2.1
	Интегральная целостность фильтров, встроенных в воздуховоды или кондиционеры	B.6.4		Линейный фотометр аэрозолей	C.6.1.1
				Логарифмический фотометр аэрозолей	C.6.1.2
				Дискретный счетчик частиц	C.6.2
				Генератор аэрозолей	C.6.3
				Вещества для генерирования контрольного аэрозоля	C.6.4
				Система разбавления	C.6.5
				Счетчик ядер конденсации	С.2.1
	Направление потока воздуха, визуализация потока	B.7 (приложение B)		Аэрозоли для визуализации	C.7.1
				Термоанемометр	C.7.2
				Трехмерный ультразвуковой анемометр	C.7.3
				Генератор аэрозолей	C.7.4
				Генератор тумана	C.7.4
B.13	Температура	B.8 (приложение В)			C.8
	Обычные измерения	B.8.2.1 (приложение B)		Стеклянный термометр	C.8.1
				Термометр	C.8.2
				Измеритель температуры с термосопротивлениями	C.8.3
				Термистор	C.8.4
	Пространственные измеренния	B.8.2.2 (приложение B)		Стеклянный термометр	C.8.1
				Термометр	C.8.2
				Измеритель температуры с термосопротивлениями	C.8.3
				Термистор	C.8.4
	Влажность	B.9 (приложение B)		Гигрометр емкостной	C.9.1
				Гигрометр волосковый	C.9.2
				Датчик точки росы	C.9.3
				Психрометр	C.9.4
	Статическое электричество и генерация ионов	B.10 (приложение B)			C.10
	Статическое электричество	B.10.2.1 (приложение B)		Электростатический вольтметр	C.10.1
				Высокоомный омметр	C.10.2
				Регистратор заряда пластины	C.10.3
	Генерация ионов	B.10.2.2 (приложение B)		Электростатический вольтметр	C.10.1
				Высокоомный омметр	C.10.2
				Регистратор заряда пластины	C.10.3
	Осаждение частиц	B.11		Демонстрационная пластина		C.11
				Бинокулярный микроскоп		C.12
				Фотометр для осажденных частиц (седи-ментометр)	C.11.1	C.13
				Счетчик частиц на поверхности	C.11.2
				Генератор частиц	C.11.3
	Время восстановления	B.12		Дискретный счетчик частиц	C.12.1
				Генератор аэрозолей	C.12.2
				Система разбавления	C.12.3
	Герметичность ограждающих конструкций:	B.13			C.13
	– испытание с помощью дискретного счетчика частиц	B.13.2.1		Дискретный счетчик частиц	C.13.1
				Генератор аэрозолей	C.13.2
	– испытание с помощью фотометра	B.13.2.2		Система разбавления	C.13.3
				Фотометр	C.13.4
				Генератор аэрозолей	C.13.2
а) При планировании и выборе испытаний в первой графе можно ставить номера, соответствующие последовательности проведения испытаний. в) В четвертой графе можно отмечать оборудование, соответствующее выбранным методам испытаний.

Приложение В
(справочное)

Методы испытаний

B.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации чистых помещений

B.1.1 Область применения

Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговыми значениями размеров от 0,1 до 5 мкм

Концентрация частиц может определяться в любом из трех состояний чистого помещения: построенном,оснащенном и эксплуатируемом.

Определение концентрации частиц выполняется при определении или подтверждении класса чистоты чистого помещения или чистой зоны в соответствии с ИСО 14644-1 или при проведении периодических испытаний в соответствии с ИСО 14644-2. Настоящая методика, приведенная в В.1(приложение B), заимствована из IEST-G-CC1001:1999 [11]и переработана.

B.1.2 Методика испытаний

B.1.2.1 Общие положения

Определение числа точек отбора проб, расположение этих точек, определение класса чистых зон и необходимое количество данных проводят в соответствии с ИСО 14644-1. В В.1 приводятся стандартные методы отбора проб воздуха в каждой точке отбора проб.Другие методы с эквивалентной точностью, обеспечивающие получение эквивалентных данных, могут использоваться по соглашению между заказчиком и исполнителем.Если не согласован другой метод, то следует применять стандартный метод,приведенный в настоящем приложении.

Примечание – Более подробные данные об испытаниях, проводимых в чистых помещениях с использованием дискретных счетчиков частиц, информация о стандартах, касающихся дискретных счетчиков частиц, а также стандартные методы испытаний приведены в [2],[3],[4],[11],[23],[24].

В.1.2.2 Методика счета аэрозольных частиц

Пробо отборное отверстие дискретного счетчика частиц(далее – счетчика) помещают в место отбора пробы, устанавливают скорость отбора пробы и выбирают пороговые размеры частиц в соответствии с ИСО 14644-1. В зонах с однонаправленным потоком применяется изо кинетический пробоотборник [1].Скорость воздушного потока на входе в пробоотборник не должна отличаться от скорости отбираемого воздуха более чем на 20 %. Если это невозможно, то входное отверстие пробоотборника следует направить навстречу преобладающему направлению потока воздуха. В точках, где скорость потока воздуха не контролируется или непредсказуема (например, в случае не однонаправленного потока), входное отверстие пробоотборника следует направить вертикально вверх. Соединительная трубка,соединяющая пробоотборник и измерительный узел счетчика, должна быть как можно короче. Для отбора проб, содержащих частицы с размерами равными или превышающими 1,0 мкм, длина и диаметр соединительной трубки не должны превышать значений, рекомендуемых изготовителем.

Ошибка при отборе пробы из-за потери мелких частиц за счет диффузии и больших частиц за счет осаждения(импакции) не должна превышать 5 %.

B.1.3 Оборудование для счета аэрозольных частиц

Дискретный счетчик частиц [см. C.1 (приложение C)] должен оценивать размеры частиц и считать частицы, дифференцируя по их размерам, соответствующим классу рассматриваемого чистого помещения. Счетчик частиц должен показывать на экране или регистрировать результаты счета частиц, размеры которых соответствуют установленному диапазону, а также иметь действующий сертификат калибровки, какэто указано в C.1 (приложение C).

B.1.4 Протокол испытаний

При проведении классификации или аттестации чистого помещения (чистой зоны) в дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным в разделе 5,по соглашению между заказчиком и исполнителем, указываются следующие данные:

a) фоновый шум счетчика;
b) тип испытаний: классификация или аттестация(мониторинг);
c) класс чистого помещения (чистой зоны);
d) размеры частиц и результат счета;
e) расход забираемого потока воздуха на входе счетчикаи внутри измерительной камеры счетчика;
f) расположение точек отбора проб;
g) протокол отбора проб при классификации или план точек отбора проб при аттестации (мониторинге);
h) состояние(я) чистого помещения или чистой зоны;
i) другие данные, существенные для испытания.

B.2 Определение концентрации ультра мелких аэрозольных частиц

B.2.1 Область применения

Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговым размером не более 0,1 мкм. Для обозначения такой концентрации частиц используютU-дескриптор.Методика, приведенная в настоящем разделе, заимствована из IEST-G-CC1002:1999 [12]и переработана. Определение концентрации частиц может проводиться в чистом помещении или чистой зоне в любом из трех его состояний. Определение концентрации ультра мелких частиц в чистых помещениях или чистых зонах выполняется в соответствии с ИСО 14644-1 (приложение E) или при проведении периодического контроля в соответствии с ИСО 14644-2.

В.2.1.2 Эффективность счета

Оборудование, применяемое дляопределения U-дескриптора,должно иметь эффективность счета в пределах закрашенной (темной) областиграфика, приведенного на рисунке B.1 [12].В центре области допустимых значений лежит точка 50 %-ной эффективности счетаультрамелких частиц определенного размера, обозначенного как размер «U».Допустимое отклонение размера ультрамелкойчастицы, составляет +10 % установленного диапазона. Границы диапазона нарисунке B.1находятся в пределах от 0,9U до1,1U. Приемлемые минимальная и максимальнаяэффективность счета частиц, размеры которых не соответствуют установленномудиапазону 10 %-ной полосы допустимых отклонений, рассчитаны, исходя издиффузионной проницаемости; эффективность счета должна составлять не менее 40 %- для частиц с размерами, превышающими 10 %-ное допустимое отклонение и неболее 60 % – для частиц, размеры которых менее 10 %-ного допустимогоотклонения, чем заданный размер, и не более 60 %-ной эффективности для частиц сразмерами на 10 % меньшими, чем заданный размер ультрамелкой частицы.

X – диаметр частицы, мкм Y – эффективность счета, %

Пример	0,5 U	0,9U	U	1,1U	5U
U = 0,02	0,010	0,018	0,020	0,022	0,100
U = 0,03	0,015	0,027	0,030	0,033	0,150
U = 0,05	0,025	0,045	0,050	0,055	0,250

Рисунок В.1 -График оценки эффективности счета

Если кривая зависимостиэффективности счета от размера частицы для дискретного счетчика частиц илисчетчика ядер конденсации проходит справа от штрихованной области на графике нарисунке B.1,то такие счетчики не могут быть использованы для определения U-дескриптора. Если кривая проходит слева отзаштрихованной области, то эффективность счета может быть уменьшена путеммодификации счетчиков, заключающейся в применении специального устройства,ограничивающего пропускание мелких частиц, как это описано в В.2.1.3. Вэтом случае значение эффективности счета модифицированных счетчиков будет равнапроизведению величины эффективности счета немодифицированных счетчиков икоэффициента относительного пропускания применяемого устройства.

В.2.1.3Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц

Для достижения желаемойэффективности счета, необходимой для определения U-дескриптора, устройство, ограничивающее пропусканиемелких частиц, может быть прикреплено к входному отверстию пробоотборникадискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации, чья криваяэффективности счета проходит слева от заштрихованной области на графике (см.рисунок B.1).Кривая эффективности счета для счетчиков, оснащенных пробоотборником сустройством, ограничивающим пропускание мелких частиц, изменится таким образом,что будет проходить, как это и требуется, через заштрихованную область награфике (см. рисунок B.1).

Устройство, ограничивающиепропускание мелких частиц, удаляет частицы с размерами менее установленных,уменьшая их пропускание определенным и воспроизводимым образом. Допускаетсяприменение других устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, если иххарактеристики не ниже требуемых характеристик по пропусканию. В качествепримера применяемых устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, можноназвать секции диффузионных батарей и виртуальные импакторы. Пропусканиезависит от физических свойств частиц, конструкции устройства, ограничивающегопропускание мелких частиц, и скорости потока воздуха. Необходимо внимательноследить за тем, чтобы устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц,применялось при таких скоростях воздушного потока, для которых оно былорассчитано, и было установлено таким образом, чтобы избежать накопленияэлектростатического заряда. Накопление электростатического заряда можно свестик минимуму путем надежного заземления устройства, ограничивающего пропусканиемелких частиц.

B.2.2Методика определения концентрации ультрамелких частиц

Устанавливается пробоотборникдискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации (с устройством,ограничивающим пропускание мелких частиц, если это необходимо). В каждой точкеотбора проб производится отбор воздуха требуемого объема и выполняется счетчастиц в соответствии с ИСО 14644-1 (приложение В) или ИСО 14644-2. Отбор пробыпри низкой скорости потока воздуха при отборе или длинной трубке пробоотборникаможет привести к значительным потерям ультрамелких частиц из-за диффузии.Допустимая погрешность при отборе пробы из-за диффузии ультрамелких частиц, недолжна превышать 5 %. Вычисляется величина U-дескриптора для заданного диапазона размеровультрамелких частиц, согласованного заказчиком и исполнителем, и вносятсяданные в протокол. Если необходимо получить информацию о стабильностиконцентрации ультрамелких частиц, то выполняется не менее трех измерений втаких точках и с такими интервалами времени, которые согласованы заказчиком иисполнителем.

B.2.3Приборы для счета ультрамелких частиц

Для счета ультрамелких частицприменяют дискретные счетчики частиц с характеристиками, описанными в C.3 (приложение C), или счетчики ядер конденсации схарактеристиками, описанными в C.2 (приложение C). Дискретный счетчик частиц должен иметьэффективность счета, равную 50 %, для ультрамелких частиц согласно ИСО 14644-1(приложение В), и возможность точного определения размеров частиц как минимумдо 1 мкм. Эффективность счета частиц предельного размера для дискретныхсчетчиков частиц или счетчиков ядер конденсации должна быть определена всоответствии с графиком на рисунке B.1.Если счетчик способен обнаруживать частицы с размерами менее установленных, тоследует использовать устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц, схарактеристиками пропускания согласно В.2.1.3.

B.2.4Протокол испытаний

При определении U-дескриптора в чистом помещении, по соглашениюмежду заказчиком и исполнителем, в протокол, как это указано в разделе 5 настоящего стандарта, должныбыть внесены следующие данные:

a) данные, идентифицирующие дискретныйсчетчикчастицили счетчик ядер конденсации и устройство, ограничивающее пропусканиемелких частиц, если оно используется; данные об их калибровке;
b) предельный размерультрамелкихчастиц,принятый для определения U-дескриптора;
c) фоновый шум для дискретного счетчикачастиц,еслион используется;
d) необходимые характеристикиустройства,ограничивающегопропускание мелких частиц;
e) тип испытаний: определениеU-дескриптора или мониторинг;
f) класс чистоты чистого помещения;
g) параметры входного отверстияпробоотборникаирасход воздуха при отборе пробы;
h) положение точки (точек) отбора проб;
i) установленная схема отбора пробприпроведениииспытаний;
j) состояние чистого помещения;
k) другие данные, существенные для испытания.

B.3Определение концентрации аэрозольных макрочастиц

B.3.1Область применения

Рассматриваемый методпредназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговымразмером более 5 мкм (макрочастиц). Методика, приведенная в настоящемстандарте, взята из IEST-G-CC1003:1999[13]и переработана. Определение концентрации частиц может проводиться в чистомпомещении или чистой зоне в любом из трех состояний чистого помещения иличистой зоны. Определение концентрации макрочастиц в чистых помещениях (чистыхзонах) выполняется в соответствии с ИСО 14644-1 (приложением E) или при проведении периодического контроля всоответствии с ИСО 14644-2. Особое внимание должно быть уделено получению иобращению с пробой, чтобы свести к минимуму потери макрочастиц во время такихопераций.

B.3.2Обращение с пробой

Работа с макрочастицами требуетвнимательного отбора пробы и обращения с ней. Требования, предъявляемые к системам,которые могут быть использованы для изокинетического и анизокинетическогоотбора проб и доставки частиц до места их регистрации, приведены в [1]и [13].

B.3.3Методики определения концентрации макрочастиц

B.3.3.1 Общие положения

Существует две основные группыметодов измерения макрочастиц. Нельзя сравнивать данные, полученные прииспользовании разных методов измерения. Поэтому поиск корреляции между данными,полученными разными методами, может оказаться невозможным. Информация оразмерах частиц может быть получена с помощью следующих методов:

a) накопление частиц путем фильтрацииилииспользованияинерционных эффектов, за которыми следуют измерение числа иразмера частиц под микроскопом или измерение массы собранных частиц:

1) накопление частиц путемфильтрации с последующим измерением под микроскопом (см. В.3.3.2.1)дает информацию о макрочастицах с размерами превышающими установленные;

2) сбор частиц с помощьюкаскадного импактора с последующим измерением под микроскопом [см. B.3.3.2.2a)] дает информацию о макрочастицах сразмерами, определяемыми оператором, при помощи микроскопа;

3) сбор частиц с помощьюкаскадного импактора с последующим измерением массы [см. B.3.3.2.2b)] дает информацию о макрочастицах с размерами,соответствующими аэродинамическому диаметру;

b) определение на месте концентрации иразмерамакрочастицс помощью времяпролетного счетчика или дискретного счетчика частиц:

1) применение дискретногосчетчика частиц (см. B.3.3.3.2) дает информацию о макрочастицах с размером, соответствующимэквивалентному оптическому диаметру;

2) использование времяпролетногосчетчика частиц (см. B.3.3.3.3) дает информацию о макрочастицах с размером, соответствующимаэродинамическому диаметру.

B.3.3.2Накопление и счет макрочастиц

В.3.3.2.1Накопление частиц с помощью фильтра с последующим измерением под микроскопом

Выбирается мембранный фильтр сдержателем или предварительно собранным устройством для обнаружения аэрозоля.При этом размеры пор используемого фильтра не должны превышать 2 мкм. Надержателе делается отметка, позволяющая идентифицировать место отбора пробы ичистое помещение. К выходному отверстию присоединяют вакуумный насос, которыйбудет обеспечивать движение воздуха с требуемой скоростью. Если точка отборапроб, где необходимо определить концентрацию макрочастиц, находится в однонаправленномпотоке, то скорость потока воздуха должна быть отрегулирована таким образом,чтобы обеспечить изокинетический отбор проб через входное отверстие держателяфильтра или устройством для обнаружения аэрозоля, при этом входное отверстиедолжно быть повернуто навстречу однонаправленному потоку.

Входное отверстие держателяфильтра или устройства для обнаружения аэрозоля должны быть направленывертикально вверх. Для систем, имеющих уровень чистоты, не менее 6 классавключительно и выше (см. ИСО 14644-1), объем пробы воздуха должен быть не менеечем 0,28 м3. Для систем, имеющих уровень чистоты не более 6-гокласса, объем пробы воздуха должен быть не менее чем 0,028 м3.

Удаляют крышку с держателямембранного фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля и кладут ее вчистое место. Проводят отбор воздуха в точках отбора проб, согласованных междузаказчиком и исполнителем. Если для обеспечения движения воздуха через фильтриспользуется переносной вакуумный насос, то воздух, выходящий из насоса, долженбыть выведен за пределы чистого помещения или проходить через соответствующийфильтр. После завершения отбора проб держатель фильтра или регистратор аэрозолязакрывают. Образец с пробой следует перевозить таким образом, чтобы он всевремя между измерением и анализом находился в горизонтальном положении, и неподвергался вибрации или толчкам. Подсчитывают частицы на поверхности фильтра [4].

В.3.3.2.2 Накопление частиц спомощью каскадного импактора с их последующим измерением В каскадном импакторевоздушный поток проходит через систему жиклеров с отверстиями уменьшающихсяразмеров. Самые большие частицы оседают непосредственно перед самыми большимиотверстиями, более маленькие частицы оседают на каждой последующей ступениимпактора. Для накопления макрочастиц используются два типа каскадныхимпакторов. В первом частицы оседают на съемных пластинах, которые вынимаютсядля проведения последующего взвешивания или исследования под микроскопом. Дляэтого типа каскадных импакторов при отборе проб обычно используются потоки,расход воздуха в которых не менее 0,00047 м3/с. В другом типеимпакторов частицы оседают на пьезоэлектрическом кварцевом датчике микровесов,который определяет массу частиц, собранных каждой ступенью импактора. Вимпакторе этого типа обычно используются потоки со значительно меньшим расходомвоздуха.

a)В случае применения каскадных импакторов первого типа перед проведениемизмерений фиксируются начальные масса или число частиц на единицу площади длякаждой накопительной пластины. Импактор работает не менее 10 мин. После чего онплотно закрывается и направляется для взвешивания или проведения измерений подмикроскопом. Накопительные пластины удаляются, и записывается масса или числочастиц, собранных на каждой из пластин. Концентрацию макрочастиц рассчитываютследующим образом: полная масса или число частиц, измеренные на соответствующихнакопительных пластинах, деленная на полный объем воздуха, прошедшего черезимпактор.

b)При применении второго типа каскадных импакторов масса частиц записывается вовремя отбора пробы. Поскольку датчик микровесов может показывать изменениемассы каждой пластины, то обычно нет необходимости определять их массу передначалом отбора пробы. Так же как и в других каскадных импакторах, пластиныможно вынимать для проведения измерений отдельных частиц с помощью оптическогомикроскопа или состава частиц с помощью электронного микроскопа. Расход воздухапри отборе проб устанавливается равным 0,00039 м3/с, а длительностьотбора – от десяти минут до нескольких часов, в зависимости от класса чистотычистого помещения (чистой зоны). Импактор размещается в предварительновыбранной точке отбора проб и включается. После окончания отбора пробы импакторможет быть перемещен в другую точку, где могут быть проведены следующиеизмерения. Концентрация макрочастиц рассчитываются следующим образом: полнаямасса или число частиц, измеренные на соответствующих накопительных пластинах,деленная на полный объем воздуха, прошедшего через импактор.

В.3.3.3Измерение макрочастиц без накопления

B.3.3.3.1 Общие положения

Счет макрочастиц может бытьвыполнен без их накопления. Этот процесс включает в себя оптические измеренияаэрозольных частиц. Во время отбора пробы воздух с определенной скоростьюдвижется через дискретный счетчик частиц, который определяет либо эквивалентныйоптический диаметр, либо аэродинамический диаметр частиц.

B.3.3.3.2Измерения с помощью дискретного счетчика частиц

Методика измерения макрочастиц спомощью дискретного счетчика частиц является такой же, как и приведенная в В.1для аэрозольных частиц, с одним отличием. Отличие заключается в том, отдискретного счетчика частиц в данном случае не требуется чувствительность дляопределения частиц, с размером не более 1 мкм, т.к. ему нужно измерять толькомакрочастицы. Необходимо следить за тем, чтобы дискретный счетчик частицпроводил забор воздуха прямо из точки отбора проб. Для дискретного счетчикачастиц нельзя использовать трубки для отбора проб длиной более 1 м. Дискретныйсчетчик частиц должен иметь возможность проводить отбор проб с расходом воздуха0,00047 м3/с и иметь входное отверстие пробоотборника, размеркоторого может изменяться для проведения изокинетического отбора проб в зонах соднонаправленными потоками. В зонах с неоднонаправленным потоком входноеотверстие пробоотборника дискретного счетчика частиц должно быть направленовертикально вверх. Диаметр входного отверстия пробоотборника не должен быть неменее 30 мм.

Настройка диапазона измеряемыхразмеров дискретного счетчика частиц производится таким образом, чтобырегистрировались только макрочастицы. Необходимо провести счет числа частицодного из размеров, не превышающего 5 мкм, [см. ИСО 14644-1, (таблица 1)],чтобы убедиться, что концентрация частиц с размерами, не превышающими размеровмакрочастиц, не настолько велика, чтобы привести к ошибке несовпадений визмерениях с помощью дискретного счетчика частиц. Концентрация частиц с болеенизким пороговым размером в сумме с концентрацией макрочастиц не должнапревышать 50 % максимального рекомендованного значения установленнойконцентрации для используемого дискретного счетчика частиц.

B.3.3.3.3Определение размера частиц по времени пролета

Размеры макрочастиц могут бытьопределены с помощью приборов, в основу работы которых положен принципизмерения времени пролета частиц. Проба воздуха подается в прибор, и разгонятсяза счет ее пропускания через сопло в камеру с частичным вакуумом, гдерасположен измерительный блок. Частицы, находящиеся в воздухе, такжеразгоняются, следуя за воздухом в измерительный блок. Значение ускорения частицобратно пропорционально их массе. Соотношение скоростей воздуха и частицы вточке измерения может быть использовано для определения аэродинамического диаметрачастицы. Зная значение разности давлений воздуха снаружи и в измерительнойкамере, можно точно рассчитать скорость воздуха. Скорость частиц определяетсяпо времени пролета между двумя лазерными лучами. Приборы, в основе работыкоторых положен принцип определения времени пролета, измеряют аэродинамическийразмер частиц с разрешением не менее 10 %. Процедура получения пробы та жесамая, что и для измерений макрочастиц с помощью дискретных счетчиков частиц.Кроме того, для приборов, в основу работы которых положен принцип измерениявремени пролета частиц, применяются такие же процедуры для установлениядиапазонов размеров частиц, как и для дискретных счетчиков частиц.

B.3.4Методика определения концентрации макрочастиц

Устанавливают пробоотборник выбранногоприбора. Проводят отбор проб воздуха в таком объеме, чтобы зарегистрировать какминимум 20 макрочастиц в каждой точке отбора проб, и проводят измерения всоответствии с ИСО 14644-1 или ИСО 14644-2. Вычисляют концентрацию дляМ-дескриптора для выбранных диапазонов размеров, согласованных заказчиком иисполнителем, и вносят данные в протокол. Если необходимо получить информацию остабильности концентрации макрочастиц во времени, то проводят не менее трехизмерений в выбранных точках отбора проб с интервалами времени, согласованнымизаказчиком и исполнителем.

B.3.5Протокол испытаний

При определении концентрациимакрочастиц в чистом помещении, по соглашению между заказчиком и исполнителем,в отчет, как это указано в разделе 5 настоящего стандарта, должны быть внесеныследующие данные:

a) указание параметров частиц,соответствующихиспользуемомуоборудованию;
b) тип испытаний: классификация,определениеМ-дескриптора или мониторинг;
c) описание каждого видаиспользованногооборудованияи данные о его калибровке;
d) класс чистоты чистого помещения;
e) диапазон размеровмакрочастици результатсчета для каждого из размеров;
f) расход воздуха черезпроботборникиизмерительную камеру оборудования;
g) положение точки (точек) отбора проб;
h) схема отбора проб;
i) состояние чистого помещения;
j) стабильность концентрациимакрочастиц,еслитребуется;
k) другие данные, существенные для испытания.

B.4Анализ воздушных потоков

B.4.1Область применения

Целью данного испытания являетсяизмерение скорости и однородности воздушного потока, а также расхода приточноговоздуха в чистом помещении. В чистых помещениях с однонаправленным потокомопределяют распределение скоростей, а в чистых помещениях с неоднонаправленным потоком- выполняют измерение расхода приточного воздуха. Измерение расхода приточноговоздуха выполняется для определения объема воздуха, подаваемого в чистоепомещение в единицу времени. Значение расхода приточного воздуха может бытьтакже использовано для определения числа обменов воздуха в единицу времени.Расход приточного воздуха измеряют либо после финишных фильтров, либо внутривоздуховодов. Оба метода основаны на определении скорости воздуха, проходящегочерез площадку с известной площадью, при этом расход воздуха равен произведениюскорости воздуха и площади. Выбор метода определяется соглашением междузаказчиком и исполнителем. Данное испытание может проводиться в каждом из трехсостояний чистого помещения.

B.4.2Методика испытаний для чистого помещения с однонаправленным потоком

B.4.2.1 Общие положения

Скорость однонаправленного потокаобуславливает эксплутационные характеристики чистого помещения соднонаправленным потоком. Скорость может быть измерена вблизи выходнойповерхности финишных фильтров или внутри помещения. Для проведения измеренийвыбирается плоскость измерений, перпендикулярная к потоку приточного воздуха,которая делится сеткой на секторы одинаковой площади [15].

B.4.2.2Скорость потока приточного воздуха

Скорость воздушного потокаследует измерять на расстоянии от 150 до 300 мм от поверхности фильтра. Числоточек измерения должно быть достаточным для определения расхода приточноговоздуха в чистом помещении. Оно может быть рассчитано как квадратный корень изумноженного на 10 значения площади поперечного сечения потока, выраженной вквадратных метрах, но должно быть не менее четырех. По меньшей мере, одна точкаизмерений должна приходиться на каждый фильтр. Для предотвращения нарушенийоднонаправленного потока могут использоваться занавеси.

Для каждой из точек измеренийзаписываются усредненные по времени значения скорости. Время измерений в каждойточке измерений должно быть достаточным для обеспечения воспроизводимыхрезультатов.

B.4.2.3Однородность скорости в чистом помещении

Однородность скорости следуетизмерять на расстоянии от 150 до 300 мм от поверхности фильтра. Делениеплоскости измерений сеткой на секторы следует осуществлять по соглашению междузаказчиком и исполнителем.

Если в чистом помещенииустановлено производственное оборудование, то важно подтвердить наличиезначительных изменений воздушного потока вследствие этого. Поэтому измеренияоднородности скорости не должны проводиться вблизи таких объектов.

Полученные данные могут неотражать характеристик самого чистого помещения. Данные, использующиеся дляопределения однородности скорости (распределения скорости), должны быть согласованызаказчиком и исполнителем.

Время измерений в каждой точкеизмерений должно быть достаточным для обеспечения воспроизводимых результатов.

B.4.2.4Измерение расхода приточного воздуха вблизи выходной поверхности фильтра

Результаты измерений скорости воздушногопотока, проведенных согласно B.4.2.2, могут бытьиспользованы для расчета полного расхода приточного воздуха. Полный расходприточного воздуха Qрассчитывается по формуле

Q = ∑(UC·AC),                                                                                          (B.1)

где Q – полный расход воздуха;

UC – скорость воздушного потока в центре каждогосектора;

AC – площадь сектора, которая вычисляетсяследующим образом: как площадь чистого помещения (чистой зоны), деленная начисло точек измерения;

∑ – знак суммирования по всем ячейкам.

B.4.2.5Измерение расхода приточного воздуха в воздуховодах

Расход приточного воздуха ввоздуховодах может быть измерен с помощью расходомеров объема, таких какдиафрагменный расходомер, расходомер Вентури или анемометры (см. ИСО 5167-1,ИСО 5167-4 [19],[20],[21],[22]).

Если измерения в прямоугольномвоздуховоде проводятся с использованием трубки Пито и манометров илианемометров (термоанемометров или крыльчатых), то плоскость измерений ввоздуховоде должна быть разделена на прямоугольные секторы одинаковой площади,а скорость воздушного потока следует измерять в центре каждого сектора. Числопрямоугольных секторов должно быть согласовано между заказчиком и исполнителеми может быть равно, например, 9 или 16. Расход воздуха может быть рассчитан также, как это описано в В.4.2.4.Измерения в круглых воздуховодах проводят по методике определения расходавоздуха с помощью трубок Пито, приведенная в EN 12599 [10].

B.4.3Методика испытаний для чистого помещения с неоднонаправленным потоком

B.4.3.1 Общие положения

Расход приточного воздуха икратность воздухообмена являются наиболее важными параметрами. В некоторыхслучаях для определения объема приточного воздуха необходимо проводитьизмерения скорости приточного воздуха через каждый отдельный диффузор [15].

B.4.3.2Измерение расхода приточного воздуха через воздухораспределитель

При подаче воздуха черезвоздухораспределитель возникают струйное течение и локальная турбулентность,поэтому для измерений рекомендуется использовать раструб, который собирает весьвоздух, выходящий из финишного фильтра или приточного диффузора. Для измерениярасхода приточного воздуха используют раструб с расходомером или определяютрасход, умножая скорость воздуха, проходящего через сечение раструба, наэффективную площадь сечения. Раствор раструба должен полностью накрывать фильтрили диффузор, плотно соприкасаясь с плоской поверхностью для избежания утечеквоздуха и погрешности измерений. При использовании сопла с расходомером потоквоздуха от каждого финишного фильтра или приточного диффузора должен измерятьсянепосредственного у выпускного сечения сопла.

B.4.3.3Расчет расхода приточного воздуха по скорости воздуха, проходящего через фильтр

При отсутствии раструба оценкурасхода приточного воздуха можно осуществлять, проведя измерения с помощьюанемометра после каждого финишного фильтра. Расход приточного воздуха равенпроизведению скорости воздушного потока на площадь выходного сечения. Дляпредотвращения нарушений однонаправленного потока могут использоватьсязанавеси.

Методика расчета расходаприточного воздуха приведена в В.4.2.4.

Если плоскость измеренийневозможно разделить на прямоугольные секторы одинаковой площади, то следуетиспользовать средние скорости воздуха со статической массой, пропорциональнойплощади сектора.

B.4.3.4 Расход приточного воздуха ввоздуховодах

Расход приточного воздуха ввоздуховодах следует определять по B.4.2.5.

B.4.4Оборудование для измерений воздушного потока

Описание и спецификацииоборудования приведены в C.4 (приложение C). Для измерения воздушных потоковиспользуются ультразвуковой анемометр, термоанемометр, крыльчатый анемометр илианалогичное оборудование.

Для измерения расхода приточноговоздуха могут использоваться диафрагменный расходомер, расходомер Вентури,трубки Пито и усредняющие трубки Пито с манометрами или аналогичноеоборудование.

Измерение скорости потока воздухаследует выполнять с помощью оборудования, которое не чувствительно к вариациямскорости воздуха от точки к точке на малых расстояниях. Так, например,термоанемометр можно использовать, если сечение потока разделено на малыесекции и используются дополнительные точки измерения. С другой стороны,крыльчатый анемометр может использоваться, если он имеет достаточнуючувствительность и размеры, достаточные для усреднения скорости воздуха повсему диапазону вариаций.

Выбранное оборудование должноиметь действующие сертификаты калибровки.

B.4.5Протокол испытаний

В дополнение к пунктам протоколаиспытаний, указанным в разделе 5,по соглашению между заказчиком и исполнителем, указываются следующие данные:

a) вид испытаний, вид и условия измерений;
b) описание каждого видаиспользованногооборудованияи данные об его калибровке;
c) положение точек измерения, их расстояниеотповерхностифильтра;
d) состояние чистого помещения;
e) другие данные, существенные для испытания.

B.5Измерение перепада давления

B.5.1Область применения

Цель данного испытания -убедиться в способности системы чистых помещений поддерживать требуемуюразность давлений между системой чистых помещений и окружающей средой, а такжемежду отдельными помещениями системы чистых помещений. Измерение перепададавления может проводиться для каждого из состояний чистого помещения, можетвыполняться на регулярной основе, как часть программы текущего контроляоборудования согласно ИСО 14644-2.

B.5.2Методика испытаний

До начала проведения измеренийразности давлений между помещениями (помещениями и окружающей средой)целесообразно убедиться в том, что расход приточного воздуха и балансвоздухообмена системы чистых помещений соответствует установленным требованиям.

Убедившись в том, что все дверизакрыты, следует измерить и записать перепад давления между чистым помещением иокружающей средой.

Если система чистых помещенийсостоит из более чем одного помещения, то должен быть измерен перепад давлениямежду центральным (наиболее внутренним) помещением и примыкающими к немупомещениями. Измерения следует проводить до тех пор, пока не будет измеренперепад давления между периферическими чистыми помещениями и окружающими ихвспомогательными помещениями и наружной окружающей средой.

В связи с тем, измеряемыезначения очень малы, неправильное выполнение измерений может привести кпогрешности измерений. Необходимо принять во внимание следующее:

a) рекомендуется установить постоянныеточкиизмерения;
b) проводить измерения в точках,расположенныхприблизительнов центре чистого помещения, на удалении от мест подачиприточного и забора вытяжного воздуха, т.к. это может повлиять на локальноедавление в точках измерения.

B.5.3Оборудование для измерения перепада давления

Описание оборудования приведено вC.5 (приложение C). Для проведения испытаний могут применятьсяэлектронный микроманометр, наклонный манометр или механический датчик перепададавления. Оборудование должно иметь действующие сертификаты калибровки.

B.5.4Протокол испытаний

a) вид испытаний, вид и условия измерений;
b) описание каждого видаиспользованногооборудованияи данные о его калибровке;
c) класс чистоты рассматриваемых помещений;
d) положение точек измерения;
e) состояние чистого помещения.

B.6Испытание целостности установленной системы фильтрации

ВНИМАНИЕ. Испытание сиспользованием аэрозоля может привести к неприемлемому уровню загрязненийчастицами или молекулярному загрязнению внутри чистого помещения. Применениенекоторых контрольных аэрозолей может при определенных условиях быть опаснымдля здоровья. Настоящий стандарт не рассматривает вопросы безопасностиприменения приведенных методов испытаний. Ответственность за установление исоблюдение мер безопасности, определение степени риска и соблюдение требованийнормативных документов лежит на пользователе. Соответствие требованиямбезопасности должно быть проверено до начала практического использованиянастоящего стандарта.

B.6.1Область применения

B.6.1.1 Общие положения

Данный вид испытаний предназначендля подтверждения того, что монтаж системы фильтрации выполнен надлежащимобразом, целостность фильтров не нарушена и в процессе эксплуатации непоявились утечки в системе фильтрации воздуха. Настоящий метод частичнозаимствован из IEST-RP-CC034.2[18]и переработан. В процессе испытаний проверяется отсутствие утечек всоответствии с требованиями к классу чистоты чистого помещения или чистой зоны.Метод испытаний заключается в подаче на вход фильтра контрольного аэрозоля илибо одновременном сканировании после фильтра в зоне самого фильтра и элементовего крепления, либо в одновременном отборе пробы в воздуховоде после фильтра. Впроцессе испытаний проверяется целостность всей системы фильтрации, включаяфильтровальный материал, раму, элементы крепления и герметизации. Испытаниецелостности установленной системы фильтрации не следует путать с определением эффективностиотдельных фильтров на заводе-изготовителе. Испытание целостности установленнойсистемы фильтрации выполняется в построенном или оснащенном состояниях чистогопомещения при аттестации новых или при повторной аттестации существующих чистыхпомещений, а также после замены финишных фильтров.

В B.6.2 и B.6.3 приведены две методики испытаний дляфильтров, установленных в потолке, стенах или в оборудовании; в B.6.4 – для фильтров, установленных в воздуховодах.Испытания могут быть проведены с использованием фотометра аэрозолей (см. B.6.2) или дискретного счетчика частиц (см. B.6.3). Результаты испытаний, полученные этимиметодами, не допускают прямого сопоставления.

B.6.1.2 Применение фотометра аэрозолей

Фотометр аэрозолей можетиспользоваться для проведения испытаний:

a) в чистых помещениях (чистыхзонах) с небольшими системами вентиляции и кондиционирования илиприрасположенииточек ввода контрольных аэрозолей в воздуховоде, позволяющимобеспечить высокую концентрацию частиц на входах фильтров;
b) систем фильтрации,имеющимиинтегральноезначение коэффициента проскока по размеру наиболее проникающихчастиц (точка MPPS),равное или превышающее 0,003 %.
c) чистых помещений, длякоторыхпоследующееотделение масел, входящих в контрольные аэрозоли и осевших нафильтрующем материале или стенках воздуховодов при проведении испытаний, неопасно для продукции или процессов, проводимых в чистом помещении.

Примечание – При применении фотометрааэрозолей необходимая концентрация частиц в 100 – 1000 раз превышаетконцентрацию частиц в случае работы с дискретным счетчиком частиц (для того жекласса фильтров).

B.6.1.3 Применение дискретного счетчика частиц

Метод дискретного счетчика частиц(см. B.6.3) имеет более высокую чувствительность иприводит к меньшему загрязнению системы фильтров, чем при использованиифотометра аэрозолей. Он может применяться для испытаний:

a) чистых помещений с малыми и сбольшимисистемамивентиляции и кондиционирования;
b) систем с фильтрации, имеющимиразличныеинтегральныезначения коэффициента проскока по размеру наиболее проникающихчастиц (точка MPPS), вплотьдо 0,000005 % и менее;
c) чистых помещений, для которыхпоследующееотделениемасел, входящих в контрольные аэрозоли и осевших на фильтрующемматериале или стенках воздуховодов при проведении испытаний недопустимо, и длякоторых рекомендуется использовать аэрозоли с твердыми частицами.

B.6.2Методика испытания целостности установленной системы фильтрации сканированием сиспользованием фотометра аэрозолей

B.6.2.1Общие положения

Подготовительные этапы описаны в B.6.2.2 – B.6.2.5, методика испытаний – в B.6.2.6, критерии приемлемости и рекомендации поремонту – в B.6.2.7 и B.6.6 [14],[15],[18].

B.6.2.2Выбор контрольных аэрозолей

В воздух, идущий к фильтру исодержащий естественные аэрозоли, следует добавить полидисперсные аэрозоли длядостижения требуемой концентрации частиц на входе фильтров. Среднийэквивалентный диаметр частиц при этом должен быть в пределах от 0,5 до 0,7 мкм(стандартное отклонение – 1,7).

Примечание – Материалы, применяемые длягенерации аэрозолей, приведены в C.6.4 (приложение C).

B.6.2.3Концентрация контрольного аэрозоля до фильтров и ее оценка

Концентрация контрольныхаэрозолей до фильтров должна быть в пределах от 10 до 100 мг/м3. Приконцентрации менее 20 мг/м3 чувствительность метода по обнаружениюутечек может снизиться. Концентрация более 80 мг/м3 при длительныхиспытаниях может привести к чрезмерному загрязнению фильтра.

При первом испытании системыфильтров следует обратить внимание на однородность распределения частиц контрольныхаэрозолей в приточном воздухе. Для этого до начала испытаний следуетдокументально указать все точки подачи и испытаний контрольных аэрозолей.

Разброс концентраций частиц дофильтров в разное время и во всех точках испытаний не должен превышать отношения±15 %. Определенная при этом средняя концентрация частиц контрольных аэрозолейдолжна рассматриваться как концентрация частиц в воздухе перед фильтром. Приконцентрациях менее этого значения снижается эффективность метода пообнаружению мелких дефектов. При более высоких концентрациях чувствительностьметода повышается. Подробные детали того, как обеспечить перемешиваниеконтрольного аэрозоля согласовывается заказчиком и исполнителем. Могутиспользоваться дополнительные рекомендации ASME N510-1989 [1]и IEST-PR-CC034.2:1999[18].

B.6.2.4Определение размеров пробоотборника

Размеры входного отверстияпробоотборника зависят от скорости отбора пробы фотометра и скорости воздуха навыходе фильтра. Эти размеры должны быть такими, чтобы обеспечивалосьуравнивание скорости потока воздуха и скорости отбора пробы. Пробоотборникдолжен иметь квадратную или прямоугольную форму. Размер стороны пробоотборника Dp см, в направлении параллельном направлениюсканирования, рассчитывают по формуле

                                                                                             (B.2)

где Dp – размер стороны пробоотборника в направлении,параллельном направлению сканирования, см;

qVa – действительная скорость отбора пробыизмерительного оборудования, см3/с;

U -скорость воздуха на выходе из фильтра, см/с;

Wp – размер стороны поперечного сеченияпробоотборника, перпендикулярной к направлению сканирования, см.

Примечание – Скорость воздуха должна удовлетворять условию:

(U + 20 %) ≥ US ≥ (U – 20 %)

или

1,2U > US > 0,8U,

где U – скорость воздушного потокана выходе из фильтра;

B.6.2.5Определение скорости сканирования

Скорость сканирования Sr должна быть равной 15/Wp, см/с [18].

Например, при поперечном сечениипробоотборника 3 см ´ 3 см скорость сканирования Sr не должна превышать 5 см/с. Если используетсяпрямоугольный пробоотборник, то скорость сканирования не должна превышать 15см/с.

B.6.2.6Методика испытания целостности установленной системы фильтрации при помощисканирования

Метод состоит в подачеконтрольных аэрозолей на вход фильтров и в поиске утечек путем сканирования

поверхности фильтра со сторонывыхода воздуха, а также элементов крепления, при этом:

a) определяется скорость потока воздухадоначалаиспытаний;
b) определяется концентрация частиц ввоздухедофильтров и ее однородность (см. 6.2);
c) выполняется сканирование поверхностифильтраиэлементов крепления путем перемещения пробоотборника параллельно поверхностифильтра со скоростью, не превышающей значения Sr (см.6.2.4), причем зоны, захватываемые присканировании, должны пересекаться. Максимальное расстояние от поверхностифильтра или элементов крепления до пробоотборника должно быть около 3 см;
d) сканирование выполняется по всейповерхностикаждогофильтра, по его периметру, элементам крепления и герметизации, рамы, накоторой крепятся фильтры, включая места соединения;
e) измерение концентрации аэрозоля дофильтровследуетповторять при необходимости, между циклами сканирования и после них,чтобы подтвердить ее стабильность (см. 6.2.3)

B.6.2.7Результаты испытаний

Если при сканированииобнаруживается любой признак недопустимой утечки (B.6.2.3), то в точке с максимальными показаниямифотометра пробоотборник следует остановить и документально зафиксироватьместоположение утечки;

Считается, что утечка становитсянедопустимой, когда отношение концентраций частиц до и после фильтра превышает10-4 (0,01 %). Альтернативные результаты испытаний могут бытьустановлены по соглашению между заказчиком и исполнителем.

Рекомендации по устранениюдефектов приведены в B.6.6.

Примечание – Для фильтров с разнымикоэффициентами проскока и для фотометров с разными временами отклика могутустанавливаться разные результаты испытаний для допустимой утечки, (см. IEST-RP-CC034.2 [18]).

B.6.3Методика испытания целостности установленной системы фильтрации при помощисканирования с использованием дискретного счетчика частиц

B.6.3.1 Общие положения

Испытание выполняется в дваэтапа:

a) На первом этапе проводитсясканированиеповерхностифильтра со стороны чистого помещения на предмет обнаруженияпотенциальной утечки. При этом превышение обнаруженного числа частиц Ca за время Ts указывает на потенциальное наличие утечки. Вэтом случае переходят ко второму этапу. Если превышение не обнаружено, тодальнейший анализ не проводится. Методы расчета Ca и Ts приведены в 6.3.6;
b) На втором этапе пробоотборникпомещаетсянеподвижнов точке с максимальным числом частиц под местом потенциальной утечкии повторяется измерение. Если при неподвижном состоянии счетчика числообнаруженных частиц за время Tr превысит допустимое значение Ca, то в данном месте есть утечка. Методырасчета величин Ca и Tr приведены в 6.3.6.

B.6.3.2 Условия для выбора аэрозоля

В воздух, идущий к фильтрам,следует добавить искусственно полученные контрольные аэрозоли, чтобы достичьтребуемой концентрации частиц на входе фильтров.

Примечание – Рекомендации по выбору аэрозоляприведены в C.6.4 (приложение C).

При выборе контрольных аэрозолей учитываютсяследующие условия:

a) средний эквивалентный диаметрчастицконтрольныхаэрозолей должен быть в пределах от 0,1 до 0,5 мкм;
b) пороговый размер частиц для счетчикадолженбытьне более выбранного размера частиц контрольного аэрозоля;
c) если счетчик частиц имеет болееодногоканаламежду пороговым размером и 0,5 мкм, то следует выбрать канал с меньшимпороговым размером, соответствующим большим значениям концентрации частиц;
d) средний эквивалентный размер частицдолженбытьвыбран около средней точки (размера) выбранного канала счетчика.

B.6.3.3Концентрация аэрозоля до фильтра и ее оценка

Концентрация контрольныхаэрозолей до фильтров должна быть достаточно высокой, чтобы обеспечить приемлемуюскорость сканирования (см. B.6.3.5). В большинстве случаев следует искусственноподавать контрольные аэрозоли на вход фильтров, чтобы достичь необходимойконцентрации частиц. Для измерения такой высокой концентрации можетпотребоваться разбавитель, чтобы не выйти за допустимые пределы концентрациидля счетчика и избежать ошибки совпадения при счете частиц. Работоспособностьразбавителя должна проверяться в начале и в конце цикла его использования [16].

Если концентрация частиц на входефильтров изменяется с течением времени в значительных пределах, то ее следуетконтролировать в ходе сканирования фильтров, чтобы иметь данные для последующихвычислений. При концентрациях ниже среднего значения чувствительность кобнаружению малых утечек будет ниже, а при высоких концентрациях – выше.Подробности контроля однородности распределения контрольных аэрозолей в воздухедо фильтров, включая частоту его проведения и число точек отбора проб воздуха,подаваемого на фильтры [18],следует оговорить в соглашении между заказчиком и исполнителем.

B.6.3.4Определение размеров пробоотборника Определение размеров пробоотборника – всоответствии с B.6.2.4.

B.6.3.5Методика испытания целостности установленной системы фильтрации при помощисканирования

Методика приведена в B.6.2.6 с учетом того, что B.6.2.3 и B.6.2.5 должны бытьзаменены на B.6.3.3 и B.6.3.6.4 соответственно.

Методики оценки

a)Обнаружение потенциальной утечки при сканировании

Если в течение короткого времени(менее Ts) регистрируется две и более частицы, то следуетвыполнить стационарный контроль (при неподвижном пробоотборнике) в местепредполагаемой утечки, если Ca оценено равным 1. Если число частиц не увеличивается, то принимается,что утечки нет.

b)Обнаружение утечки при неподвижном пробоотборнике

Если обнаруженное число частицменее Ca втечение времени Tr, то принимается, что утечки нет. Если числочастиц более Ca в течение времени Tr, то принимается, что утечка есть.

B.6.3.6Предварительные расчеты

B.6.3.6.1 Обозначения и диаграммапоследовательности предварительных расчетов и оценок В настоящем разделе принятыследующие обозначения:

CC -концентрация аэрозоля до фильтра (частиц/см3);

Ps – максимально допустимое интегральное значениекоэффициента проскока для наиболее проникающих частиц (точка MPPS) испытуемого фильтра;

PL – стандартная утечка для испытуемого фильтра;

K -коэффициент, показывающий во сколько раз PL можетбыть больше PS;

qVs – стандартное значение скорости отбора проб, qVs = 472 см3/с (= 28,3 л/мин);

qVa – действительное значение скорости отбора пробдискретного счетчика частиц, см3/с;

Sr – скорость сканирования пробоотборником, см/с;

Dp – размер стороны пробоотборника в направлении,параллельном направлению сканирования, см;

Np -ожидаемое число счета частиц, которое характеризует стандартную утечку(частицы);

Npa-действительное число счета частиц, которое характеризует стандартную утечку(частицы);

Ca – числообнаруженных частиц при стационарном счете частиц (неподвижном пробоотборнике);

Ts – время отбора пробы при сканировании, с;

Tr – время отбора пробы при стационарномизмерении, с;

Схема последовательностипредварительных расчетов приведена на рисунке В.2.

Рисунок В.2 – Схема проведенияпредварительной оценки

В.6.3.6.2 Стандартная утечка дляиспытываемого фильтра PL

Стандартная утечка PL определяется с помощью счетчика частиц состандартной скоростью пробоотбора (28,3 л/мин). Пробоотборник находитсянапротив места утечки.

PL выбирается по соглашению между заказчиком иисполнителем или рассчитывается с помощью таблицы В.1 по формуле:

PL = KPs,                                                                                                  (B.3)

ТаблицаВ.1 – Зависимость K от Ps

Максимально допустимый коэффициент проскока Ps	≤ 5·10-4	≤ 5·10-5	≤ 5·10-6	≤ 5·10-7	≤ 5·10-8
Коэффициент K	10	10	30	100	300

Ps определяется как максимально допустимоезначение коэффициента проскока в точке MRRS для контролируемого фильтра согласно даннымпроизводителя.

Примечание – PL включаетпроскок сквозь фильтровальную среду и утечки.

В некоторых местах локальноезначение коэффициента проскока может быть более интегрального значения. Ca может быть заменено на Np. Рекомендуется, чтобы величина Np была не менее2, при этом выполнение условия В.6.3.6.3 нетребуется.

Для обеспечения сравнениярезультатов испытания для метода с использованием фотометров (см. В.6.2)можно принять максимально допустимое значение проскока равным 0,01 %, дляфильтров с интегральным значением коэффициента проскока от 0,05 % до 0,005 %. Вэтом случае средний размер частиц аэрозоля должен быть примерно (0,8 ± 0,2)мкм.

В.6.3.6.3Ожидаемое число счета частиц и результаты испытаний Ca

При статических вычислениях однаобнаруженная частица Ca дает верхний доверительный предел Np. Некоторые значения Ca и Np приведены в таблице В.2. При значениях, не превышающих Np возможно болеебыстрое сканирование или использование меньших концентраций аэрозоля на входефильтра:

a) Если число ложного счетапренебрежительномало, то следует использовать значенияCa = 0, Np = 3,7;
b) В ином случае следует приниматьCa≥ 1.

Таблица В.2 – Верхнее предельноезначение 95 %-ного доверительного интервала распределения Пуассона [8],[17]

Число обнаруженных частиц Ca	Верхнее предельное значение Np
0	3,7
1	5,6
2	7,2
3	8,8
4	10,2
5	11,7
6	13,1
7	14,4
8	15,8
9	17,1
10	18,4
11	19,7
Примечание – Если Np превышает 19,7, то Ca можно рассчитать по формуле: (B.4)

B.6.3.6.4 Скорость сканирования Sr

Скорость сканирования Sr рассчитывается по формуле [18]

                                                           (B.5)

Скорость сканирования Sr не должна превышать 8 см/с.

Sr и Ca должны быть выбраны предварительно, а концентрация аэрозоля до фильтраСс рассчитывается по формуле (B.5).

B.6.3.6.5 Время отбора пробы Tr, определение Npa и Ca для Tr

а) Выбор времени отбора пробы Tr, с

Если число обнаруженных частицпревышает Ca, то следует выполнить контроль при неподвижном пробоотборнике в течениевремени Tr. При использовании серийных счетчиков частиц Tr следует выбирать кратным от одного донескольких выбранных интервалов, установленных на счетчике.

б) Расчет действительного числачастиц Np (частицы)для Tr и Ca (частицы)

Действительное число частиц,характеризующих утечку Npa для времени Tr, может быть получено из уравнения В.6. При Np > Ca следует использовать формулу В.7.

Npa = CCPLqVsNr;                                                                                      (B.6)

                                                                                  (В.7)

B.6.3.6.6 Определение потенциальной утечки припомощи сканирования

a) Число обнаруженных частиц меньшеCa

Если число обнаруженных частиц неболее Ca втечение времени равном или большим Ts, то утечки нет. Время Ts должно быть не менее времени пересечения места утечки пробоотборником(см. В.8) [18]и должно рассчитываться из условия:

                                                                                                  (B.8)

b) Число обнаруженных частиц большеCa

В этом случае следует продолжитьотбор проб в месте утечки.

При ручном сканировании утечкаможет быть обнаружена визуально на дисплее счетчика частиц или за счетзвукового сигнала счетчика. Для того чтобы отличить приемлемое число частиц отнеприемлемого концентрация аэрозоля на входе фильтра должна быть такой, чтобычисло частиц после фильтра не превышало 10.

Интервал времени для отбора пробдолжен быть достаточным, чтобы исключить влияние эффекта сброса числа частицмежду интервалами.

8.6.3.6.7 Определение утечки приповторном стационарном контроле

а) Число обнаруженных частицменее Ca

Если число обнаруженных частиц неболее Ca втечение времени Tr, то утечки нет.

б) Число обнаруженных частицпревышает Ca

В этом случае следует повторитьстационарный отбор пробы. Если число обнаруженных частиц по-прежнему будетпревышать Ca, то фильтр имеет утечку.

В.6.3.7 Поправки длянестандартной скорости потока

Стандартная утечка PL соответствует стандартной скорости отборапробы qVs = 472 см3/с (28,3 л/мин). Счетчастиц от утечек не зависит от скорости отбора пробы qVa в отличие от частиц, проникающих через обычную фильтровальную среду. Принестандартных скоростях отбора пробы следует использовать уравнения:

Sr ≤ [CC(PL – Ps)qVs + CCPsqVa](Dp/Np);                                                    (B.9)

Npa = [CC(PL – Ps)qVs + CCPsqVa]Tr.                                                          (B.10)

B.6.3.8 Пример проведения расчетов

Схема проведения расчетовприведена на рисунке В.3.

Рисунок В.3 – Схема проведенияпредварительных расчетов

Методики оценки

a)Обнаружение потенциальной утечки при сканировании

Если в течение короткого времени(менее 0,4 с) число частиц увеличилось на две или более частицы, то следуетвыполнить стационарное испытание в месте предполагаемой утечки. Если числочастиц не увеличилось, то в сканируемой зоне утечки нет.

b)Обнаружение утечки при неподвижном пробоотборнике

Если в течение времени Tr = 6 с число обнаруженных частиц меньше Ca = 67, то принимается, что утечки нет. Есличисло обнаруженных частиц превышает Ca в течение времени Tr топринимается, что утечка есть.

В.6.4 Испытание интегральной целостностифильтров, установленных в воздуховоды или кондиционеры

Этот метод может использоватьсядля контроля целостности фильтров, установленных в воздуховоды. Он может такжеиспользоваться для контроля целостности многосекционного комплекта фильтров безпроверки отдельных секций. Его можно использовать и для контроля финишныхфильтров, установленных в чистых помещениях с неоднонаправленным потокомвоздуха. Этот метод имеет значительно меньшую чувствительность по обнаружениюутечек, чем методы, приведенные в B.6.2 и B.6.3 [1],[6],[9].

Метод заключается в следующем:

– до фильтра подается воздух сдостаточной концентрацией частиц;

– определяется концентрациячастиц до фильтра;

– определяется концентрациячастиц после фильтра;

– сравниваются обе концентрации,и вычисляется интегральная эффективность фильтра.

Перед проведением контроляследует проверить скорость потока воздуха (см. В.4).

Далее следует проверитьконцентрацию аэрозоля и ее однородность до фильтра фотометром (см. В.6.2.3)или счетчиком частиц (см. В.6.3.4).

Концентрация частиц в воздухепосле фильтра определятся не менее чем в одной точке для каждого фильтра,причем однородное смешивание потока должно произойти до этой точки. Если этоусловие не выполняется, то следует выбрать другой метод контроля. Отбор пробвыполняется после фильтров в несколько равномерно распределенных точках вплоскости, расположенной на расстоянии от 30 до 100 см от поверхности фильтра,а в воздуховодах на расстоянии 3 см от стенки воздуховода;

Для подтверждения стабильностиработы генератора аэрозолей следует повторно, через определенные интервалывремени определить концентрации частиц до фильтров (см. В.6.2.3).

По данным о концентрации частицвычисляются интегральные значения коэффициента проскока частиц заданногоразмера для каждой точки, расположенной после фильтра.

При использовании счетчика частицэти фактические значения коэффициента проскока не должны превышать заданныхзначений коэффициента проскока для фильтра в точке MPPS более чем в пять раз. Если используетсяфотометр аэрозолей, то фактические значения коэффициента проскока не должныпревышать 10-4 (0,01 %). Другие результаты испытаний при контролеэффективности фильтров могут быть установлены соглашением между заказчиком иисполнителем.

Ремонт фильтров или устранениеутечек выполняются в соответствии с В.6.6,либо в порядке, определяемом соглашением между заказчиком и исполнителем.

Примечание – В случаях, когдатребуется контроль целостности фильтров, установленных в воздуховодах, методомсканирования, следует использовать методы, приведены в В.6.2 и В.6.3.

B.6.5Оборудование и материалы для контроля целостности установленной системыфильтрации

Оборудование, указанное в B.6.5.1 – B.6.5.4, должноиметь действующие сертификаты калибровки.

B.6.5.1Фотометр аэрозолей логарифмический или линейный (см. C.6.1)

B.6.5.2 Дискретный счетчик частиц (см. C.6.2)

Счетчик должен иметь требуемуюскорость отбора проб и считать частицы требуемых размеров. Счетчики частицы ифотометры целесообразно применять, если фоновый счет не превышает 10 % значенияутечки.

B.6.5.3 Пневматический или тепловой генератораэрозоля для обеспечения соответствующей концентрации аэрозоля с частицамисоответствующего размера (см. С.6.3)

B.6.5.4Система разбавления аэрозоля

B.6.5.5 Вещества для производства аэрозолей(см. C.6.4)

B.6.6Ремонт

Устранение утечек допускаетсятолько по соглашению между заказчиком и исполнителем. При выборе способаремонта следует учесть все указания заказчика и изготовителя фильтров.

При выборе материала для ремонтаследует учесть возможное выделение загрязнений, в том числе молекулярных, ипоследующее осаждение их на продукт и оборудование.

Дефекты, обнаруженные в фильтрах,местах их герметизации или элементах крепления должны быть устранены.

Порядок ремонта фильтров илиэлементов крепления может быть согласован заказчиком и поставщиком.

После проведения ремонта идостаточной выдержки времени следует выполнить повторное сканирование.

B.6.7Протокол испытаний

a) метод испытаний: с использованиемфотометрааэрозолейили дискретного счетчика частиц;
b) тип используемого оборудования и данныеобегокалибровке;
c) особые условия и/или отклоненияприпримененииметода испытаний, а также любые специфические особенности методики,согласованные заказчиком и исполнителем;
d) данные о концентрации частиц до фильтровсуказаниемточек отбора проб и времени их отбора;
e) скорость отбора проб, а в случаеприменениядискретныхсчетчиков частиц- пороговые размеры частиц;
f) среднее значение концентрации частицдофильтрови данные о ее распределении;
g) рассчитанные критерии приемлемостидляконцентрациичастиц после фильтров;
h) фактические концентрации частицпослекаждогочетко идентифицированного фильтра, данные о месте контроля;
i) если утечки не обнаружены – заключениеоуспешномзавершении испытания; в случае, если обнаружена утечка – данные о еенахождении, информация о ремонте и результаты повторного контроля;
j) если дефекты не обнаружены, тофильтрыуспешнопрошли контроль; при наличии утечек следует документально указатьместоположение каждой утечки, способ ремонта и результаты повторного контроля.

B.7Определение направления потока воздуха, визуализация потока

B.7.1Область применения

Целью проверки направления потокавоздуха и визуализации потока является подтверждение того, что направление иоднородность потока соответствует установленным требованиям, и если нужнопространственным и температурным характеристикам.

Примечание – В настоящем стандарте нерассматривается цифровое моделирование потоков воздуха.

B.7.2Методы

Проверка направления и визуализацияпотока воздуха может выполняться следующими методами:

a) использованием нитей;
b) введением частиц;
c) построением распределения скоростейпотоковвоздуха.

В методах а) и b) используют для визуализации потоков воздуханити или видимые частицы.

Нити или частицы перемещаются понаправлению потоков воздуха, и полученная картина снимается фотоаппаратом иликинокамерой. Нити и частицы не должны быть причиной загрязнений.

Для получения частиц могутиспользоваться генератор аэрозолей, источник света высокой интенсивности.

Метод c) используется для демонстрации распределенияскоростей потока воздуха в чистом помещении и основан на визуализации потокавоздуха частицами при помощи моделирования с использованием компьютера.

При проведении испытаний следуетпринять меры предосторожности, чтобы исключить влияние персонала на потокивоздуха.

Примечание – Следует учесть, что напотоки воздуха могут влиять такие параметры, как перепад давления, скоростьдвижения воздуха и температура.

B.7.3Методы определение направления потока воздуха, визуализация потока

B.7.3.1 Метод использования нитей

Метод состоит в наблюдении занитями (шелковыми нитями, отдельными нейлоновыми волокнами, флажками илитонкими лентами), которые крепятся к штырькам или точкам пересеченияпроволочной сетки, находящимся в потоке воздуха.

Это дает видимую картинунаправления потока воздуха и их изменения из-за турбулентности. Целесообразноиспользовать эффективную подсветку и видеозапись или фотографию полученнойкартины потоков воздуха. Для определения угла отклонения потока следуетвыполнить измерения в двух точках (например, на расстоянии от 0,5 до 2 м).

B.7.3.2Метод введения частиц

Метод состоит в наблюдении заповедением частиц, которые вводятся в поток воздуха. Применение источниковсвета с высокой интенсивностью светового потока позволяет определитьнаправление и однородность потока воздуха. Трассирующие частицы могут бытьполучены из распыляемой деионизованной воды, спирта и пр. Источник частицдолжен быть выбран так, чтобы исключить загрязнение воздуха и поверхностейчистого помещения.

При выборе метода распыленияследует учесть требования к размеру частиц (капель). Он должен быть достаточнымдля визуализации потока воздуха выбранным методом, но не настолько большим,чтобы гравитация или иной эффект могли повлиять на их движение и искажениеполучаемой картины.

B.7.3.3 Визуализация потоков воздуха с помощьювидеозаписи

Видеозапись картины визуализациипотоков воздуха (B.7.3.2) позволяет получить количественныехарактеристики потоков (векторы скоростей) в двухмерном изображении. При этомиспользуются цифровые камеры, передающими изображение на компьютеры снеобходимыми интерфейсами и программным обеспечением. Для достижения большейпространственной разрешающей способности могут использоваться лазерныеисточники света и пр.

B.7.3.4 Визуализация потоков воздуха методомпостроения распределения скоростей

Распределение скоростей потоковвоздуха может быть построено по нескольким точкам, в которых скоростьопределяется термоанемометром, ультразвуковым анемометром или другим прибором.

B.7.4Оборудование для определения направления потока воздуха, визуализации потока

Выбор приборов и оборудованиязависит от выбранного метода визуализации (C.7).

B.7.5Протокол испытаний

По соглашению между заказчиком иисполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протоколе испытанийуказывают следующее:

a) метод испытаний;
b) тип используемых приборов и данные обихкалибровке;
c) точки, в которых проводится визуализация;
d) фотография или видеозаписькартинывизуализацииили первичные данные измерения скоростей воздуха, если этопредусмотрено;
e) план размещения приборов, используемыхпривизуализации;
f) состояние чистого помещения.

B.8Измерение температуры

B.8.1Область применения

Измерение температуры выполняетсяс целью проверки способности системы вентиляции и кондиционирования воздухаподдерживать значения температуры в определенной зоне в заданных пределах втечение времени, согласованного заказчиком и исполнителем.

Методы по B.8 частично заимствованы в IEST-PR-CC006.3[15].

Предусматриваются два методаконтроля:

– общий метод контроля (см. B.8.2.1), который относится к первичной проверке чистого помещения впостроенном состоянии,

– специальный контроль (см. B.8.2.2), который может использоваться в оснащенном иэксплуатируемом состояниях.

Второй вид контроля выполняется вчистых помещениях с повышенными требованиями к точности поддержаниятемпературного режима.

B.8.2Методика измерения температуры

B.8.2.1Обычные измерения температуры

Этот вид контроля выполняетсяпосле завершения контроля потоков воздуха, балансирования системы вентиляции икондиционирования и стабилизации параметров ее функционирования.

Измерение температуры следуетвыполнять, как минимум, в одной точке в каждой температурной зоне. Измерениявыполняются на высоте рабочего места.

Значение температуры записываютсяпосле стабилизации показаний датчика.

Порядок проведения измеренийопределяется с учетом назначения чистого помещения. Время измерений должно бытьне менее 5 минут с записью значений через 1 мин.

B.8.2.2Пространственные измерения температуры

Этот вид измерений выполняетсяпри необходимости соблюдения повышенных требований к точности поддерживаниятемпературного режима.

Контроль выполняется после работысистемы вентиляции и кондиционирования, по крайней мере, в течение 1 ч, чтобыобеспечить стабилизацию ее работы.

Рабочую зону следует разделить насекторы равной площади. Зоны проведения контроля должны быть согласованы между заказчикоми исполнителем.

Измерения должны выполняться, какминимум, в двух точках.

Датчик температуры долженрасполагаться на высоте рабочего места на расстоянии не менее 300 мм отпотолка, стен и пола чистого помещения.

При определении места расположениядатчика следует учесть близость источников тепла.

Значения температуры записываютсяпосле стабилизации показаний датчика.

Порядок проведения измеренийопределяется с учетом назначения чистого помещения. Время измерений должно бытьне менее 5 мин, с запись значений через 1мин.

B.8.3Оборудование для измерения температуры

Точность датчика температурыдолжна соответствовать требованиям ИСО 7726. Для измерений могутиспользоваться:

a) термометры;
b) приборы с изменяющимся сопротивлениемоттемпературы;
c) термисторы.

Разрешающая способность датчикадолжна быть не менее 1/5 абсолютной величины разности между номинальнымзначением температуры и наиболее удаленным значением температуры отноминального значения.

Датчик должен иметь действующийсертификат калибровки.

B.8.4Протокол испытаний

a) методы и условия испытаний;
b) данные об используемых приборах иихкалибровке;
c) виды испытаний (контроля) иусловияпроведенияиспытаний;
d) точки расположения приборов;
e) состояние чистого помещения.

B.9Измерение влажности

B.9.1Область применения

Контроль влажности выполняется сцелью проверки способности системы вентиляции и кондиционирования воздухаподдерживать значения влажности воздуха (выраженной в виде относительнойвлажности или точке росы) в заданных пределах в течение времени, согласованногозаказчиком и исполнителем в пределах определенной зоны.

Метод по B.9 частично заимствован в IEST-PR-CC006.3 [15].

B.9.2Методика измерения влажности

Этот вид испытаний выполняетсяпосле завершения испытаний потоков воздуха, балансирования системы вентиляции икондиционирования и стабилизации параметров ее функционирования.

Измерение влажности следуетвыполнять, как минимум, в одной точке в каждой зоне с заданными требованиями квлажности.

Значения влажности записываютсяпосле стабилизации показаний датчика.

Измерения следует проводить, какминимум, в течение 5 мин. Периодичность измерений и время их выполнениясогласовываются заказчиком и исполнителем.

Точки измерения влажности ипериодичность измерений должна быть согласована между заказчиком иисполнителем.

Измерения влажности следуетвыполнять одновременно с измерением температуры.

B.9.3Оборудование для измерения влажности

Точность датчика влажности должнасоответствовать требованиям ИСО 7726. Наиболее широко используются:

a) датчики влажности с тонкойдиэлектрическойпленкой;
b) датчики точки росы.

Разрешающая способность датчикадолжна быть не менее 1/5 абсолютной величины разности между номинальнымзначением влажности и наиболее удаленным значением влажности от номинальногозначения. Датчик должен иметь действующий сертификат калибровки.

B.9.4Протокол испытаний

a) методы и условия испытаний;
b) данные об используемых приборах иихкалибровке;
c) температуру;
d) первичные данные (результатыкаждогоизмерения);
e) состояние чистого помещения.

B.10Измерение статического электричества и генерации ионов

B.10.1Область применения

При измерении статическогоэлектричества определяется уровень статического напряжения на различныхповерхностях (рабочие места, продукт и пр.) и скорость потери напряженияповерхностями пола, рабочих мест и пр. Способность сохранять и рассеиватьстатическое электричество оценивается по поверхностному сопротивлению и сопротивлениюутечки поверхностей. Проверка генерации ионов выполняется с целью оценки работыгенераторов ионов путем измерения времени разряда первоначально заряженныхпластин и путем определения напряжения смещения изолированных контрольныхпластин. Результат каждого измерения показывает эффективность устранения (илинейтрализации) статического заряда и дисбаланса между положительными иотрицательными генерированными ионами.

B.10.2Методика измерения статического электричества и генерации ионов

B.10.2.1Методика измерения статического электричества

B.10.2.1.1 Измерение статического напряжения наповерхности

Присутствие положительных илиотрицательных электрических зарядов на поверхностях измеряетсяэлектростатическим вольтметром или измерителем поля.

Показания статического вольтметраили измерителя поля устанавливаются на нуль при направлении пробника назаземленную металлическую пластину. Пробник следует держать таким образом,чтобы измерительная диафрагма была параллельна пластине и находилась нарасстоянии, установленном в инструкции изготовителя. Металлическая пластина,используемая для установки нуля, должна иметь площадь, достаточную длятребуемого размера диафрагмы пробника и расстояния между пробником иповерхностью.

Для измерения статическогоэлектричества следует расположить пробник возле поверхности объекта, заряд накоторой измеряется. Пробник следует располагать так же, как и при установкенуля. Для получения достоверных данных поверхность объекта должна бытьдостаточно большой по сравнению с размером апертуры пробника и расстоянием отпробника до поверхности.

Показания электростатическоговольтметра записываются.

Точка измерений или объектизмерения согласовываются заказчиком и исполнителем.

B.10.2.1.2 Определение способности рассеиватьстатическое электричество

Способность рассеиватьстатическое электричество оценивается путем измерения поверхностногосопротивления (сопротивления между разными точками на поверхности) исопротивления утечки (сопротивления между поверхностью и землей). Рассеиваниеизмеряется при помощи высокоомного омметра.

Поверхностное сопротивление илисопротивление утечки измеряется с помощью электродов, имеющих необходимый вес иразмеры. Эти электроды следует располагать на должном расстоянии от поверхностиво время выполнения измерений.

Специальные требования квыполнению измерений согласовываются заказчиком и исполнителем.

B.10.2.2Методика измерения генерации ионов

B.10.2.2.1 Общие положения

Данный вид испытаний выполняетсяс целью определения характеристик генераторов ионов обоих знаков. Испытаниесостоит в измерении времени разряда и напряжения смещения. Измерение времениразряда выполняется для оценки эффективности устранения статического заряда прииспользовании генератора ионов. Измерение напряжения смещения выполняется для оценкидисбаланса положительных и отрицательных ионов в потоке воздуха, ионизированномгенераторами ионов. Этот дисбаланс может привести к нежелательному остаточномунапряжению.

Для проведения измерений нужнытокопроводящие контрольные пластины, электростатический вольтметр, таймер иисточник питания. Иногда устройство, включающее в себя эти части, называютрегистратором заряда пластины.

B.10.2.2.2 Измерение времени разряда

Измерения выполняются при помощиконтрольных пластин (изолированные проводящие пластины) с известной емкостью(например, 20 пФ). В начале испытаний контрольные пластины заряжаются доизвестного положительного или отрицательного напряжения от источника питания.

Измеряются изменения статическогозаряда пластин при их нахождении в потоке воздуха, ионизованного генераторамиионов обеих полярностей. Изменение напряжения на пластинах с течением времениопределяется при помощи электростатического вольтметра и таймера.

Время разряда определяется каквремя, необходимое для того, чтобы статическое напряжение на пластинеуменьшилось до 10 % начального значения.

Время разряда определяется какдля положительно, так и для отрицательно заряженных пластин.

Расположение контрольных точек икритерии приемлемости согласовываются заказчиком и исполнителем.

B.10.2.2.3 Измерение напряжения смещения

Измерение напряжения смещениявыполняется при помощи аналогичной контрольной пластины, установленной наизолятор. Заряд изолированной пластины измеряется электростатическимвольтметром.

Перед проведением измеренийпластина должна быть заземлена, чтобы снять остаточный заряд. Следуетубедиться, что напряжение на пластине равно нулю.

Измерение напряжения смещенияпроводится при помещении пластины в ионизованный поток воздуха, после того какпоказания вольтметра станут стабильными.

Допустимое значение напряжениясмещения, вызванное генераторами ионов, зависит от чувствительности кстатическому электричеству предметов, находящихся в рабочей зоне. Допустимоезначение напряжения смещения следует установить в соглашении между заказчиком иисполнителем.

B.10.3Оборудование для контроля статического электричества и генерации ионов

При проведении контролястатического электричества используются:

a) электростатический вольтметр илиизмерительэлектростатическогополя для измерения поверхностного напряжения,
b)высокоомныйомметр для измерения способностисохранять и рассеивать статическое электричество. При контроле генерации ионовиспользуются:
c) электростатический вольтметр илиизмерительэлектростатическогополя и проводящие контрольные пластины или регистраторзаряда пластин.

B.10.4Протокол испытаний

a) метод и условия испытаний;
b) данные об используемых приборах иихкалибровке;
c) температуру, влажность и другиепараметрыокружающейсреды;
d) точки проведения измерений;
e) состояние чистого помещения;
f) другие данные, относящиеся к испытаниям.

B.11Контроль осаждения частиц

B.11.1Общие положения

Данный метод предусматриваетопределение числа частиц с оценкой их размеров, которые могут осесть напродукты или на поверхности, находящиеся в чистом помещении. Осевшие частицысобираются на пластины с характеристиками, аналогичными тем, которые имеюткритические поверхности. Определение числа и размеров этих частиц выполняетсяпри помощи оптического или электронного микроскопов или сканирующих поверхностипроборов. Для получения данных об интенсивности осаждения может использоватьсяфотометр для осажденных частиц (седиментометр). В протоколе указывают данные омассе или числе осевших частиц на единицу поверхности в единицу времени.

B.11.2Методика исследования осаждения частиц

B.11.2.1 Сбор частиц на контрольные пластины

Контрольная пластина должна бытьпомещена в плоскости критической поверхности. Электрический потенциалконтрольной пластины и контролируемой поверхности должен быть одинаковым.Работа с контрольной пластиной включает в себя следующие этапы:

a) проверку правильностифункционированиячистогопомещения;
b) проверку каждой пластины и очистку сцельюуменьшениячисла частиц на ее поверхности до минимально возможного уровня;определение фоновой концентрации каждой пластины;
c) 10 % пластин следует использовать вкачествефоновых(пластин сравнения); работа с этими пластинами должна проводиться втаком же порядке, что и с контрольными пластинами, но они не подлежатэкспонированию;
d) перемещение всех контрольных пластинвконтрольныеточки с соблюдением мер предосторожности от загрязненияповерхностей пластин;
e) экспонирование контрольных пластин втечениеинтервалавремени до 48 ч в зависимости от типа чистого помещения, особенностейего эксплуатации и используемых приборов для счета частиц. При необходимостивремя экспонирования может изменяться так, чтобы получить число частиц,осажденных на поверхность пластин, достаточное для получения статистическипредставительных данных в соответствии с требованиями заказчика;
f) сбор экспонированных пластин (вобратномпорядке) и обеспечение их хранения в закрытых контейнерах так,чтобыпредохранить их от дальнейшего загрязнения.

B.11.2.2 Определение числа и размера собранныхчастиц

Число и размеры частиц,осажденных на контрольные пластины, определяется для получения воспроизводимыхданных, которые могут использоваться для оценки чистоты контролируемой зоны.

При работе с оптическиммикроскопом для оценки размера частиц может использоваться калиброваннаялинейная или круговая координатная сетка. При работе с электронным микроскопомможет использоваться калиброванная сетка (решетка) с известным линейнымрасстоянием, чтобы установить соотношение между воображаемым и реальнымразмерами. При использовании сканирующего прибора следует использовать инструкциюизготовителя в отношении калибровки размеров. Данные о числе частиц, полученныепри анализе какой-либо части пластины, могут экстраполироваться на всю площадьпластины (статистический счет). Экстраполирование может выполняться всоответствии с [4].

a) Определяют число и размеры навсехконтрольныхпластинах, включая фоновые пластины. Сортируют частицы по размерам(диаметрам) на всех пластинах и строят их распределение по размерам;
b) Определяют концентрациюDосевшихчастиц на каждой пластине по формуле:

                                                                                          (В.11)

где Nt – суммарная концентрация частиц на контрольнойпластине;

Nb – число частиц, размером не менееопределенного минимального размера, на контрольной пластине после ее подготовкик работе до экспонирования в чистом помещении (для определения фоновойконцентрации частиц);

Aw – площадь контрольной пластины, см2.

c) Определяют среднюю концентрацию частицнаконтрольнойпластине;
d) Определяют приростповерхностнойконцентрациичастиц при экспонировании вычитанием фоновой концентрации частициз суммарной концентрации частиц на пластине после экспонирования. Делятприрост концентрации частиц на время экспонирования. Результатом являетсяинтенсивность осаждения частиц, выраженная числом осевших частиц на 1 см2поверхности в единицу времени;
e) Записывают среднее значениеинтенсивностиосаждениячастиц и ее стандартное отклонение.

B.11.3Оборудование для исследования осаждения частиц

B.11.3.1 Выбор материала для демонстрационнойпластины

В зависимости от определяемогоразмера частиц и используемых приборов могут использоваться следующиематериалы:

a) микропористые мембранные фильтры;
b) двусторонняяадгезирующаялента;
c) чашки Петри;
d) чашки Петри с полимернымпокрытиемконтрастногоцвета (черного), например, полиэфирная смола;
e) фотопленка (пластины);
f) пластины для микроскопа (гладкие илиснапылениемметаллической пленки);
g) стеклянные или металлическиезеркальныепластины;
h) заготовки полупроводниковых пластин;
i) шаблон для фотолитографии.

Контрольные пластины должны бытьдостаточно гладкими, чтобы обеспечить четкое различение частиц, осевших напластины. Используемые приборы должны иметь достаточную разрешающуюспособность, чтобы обеспечить счет частиц наименьших размеров согласноустановленным требованиям.

B.11.3.2 Дополнительное оборудование

Для определения числа и размеровчастиц, осевших на пластины, могут применяться различные приборы, которые могутбыть разделены на четыре группы [25],[28]:

a) оптические микроскопы (для частиц не менее 2мкм);
b) электронные микроскопы (для частиц не менее0,02 мкм);
c) приборы для сканирования поверхности -сканеры (для частиц не менее 0,1 мкм);
d) фотометр для осажденных частиц(седиментометр), если загрязнение поверхности, превышает 1 % ее площади.

При выборе приборов следуетобратить внимание на их способность обнаруживать частицы установленныхразмеров. Следует также учесть и другие факторы, например время, необходимоедля отбора и анализа пробы и время. Приборы должны иметь действующий сертификаткалибровки.

B.11.4Протокол испытаний

По соглашению между заказчиком иисполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протокол испытанийвключается следующая информация:

a) метод и условия испытаний;
b) данные об используемых приборах иихкалибровке;
c) виды испытаний (контроля) иусловияпроведенияиспытаний;
d) точки проведения измерений;
e) состояние чистого помещения.

B.12Определение времени восстановления

B.12.1Общие положения

Испытание выполняется для оценкиспособности чистого помещения эффективно удалять взвешенные в воздухе частицы.Восстановление чистоты воздуха после повышения концентрации частиц являетсяодним из наиболее важных свойств чистого помещения. Испытание выполняетсятолько для чистых помещений с неоднонаправленным потоком воздуха, посколькуспособность восстанавливать чистоту зависит от кратности воздухообмена,расположения мест притока и вытяжки воздуха, выделений тепла и характерараспределения воздуха.

Испытание выполняется в построенномили оснащенном состояниях чистого помещения.

Данное испытание не рекомендуетсяпроводить для помещений класса 8 ИСО и класса 9 ИСО.

При использовании искусственногенерируемых аэрозолей следует избегать осаждения частиц на поверхностях вчистом помещении.

B.12.2Определение времени восстановления

Способность чистого помещения восстанавливать класс чистоты оценивается по скорости уменьшения концентрации частиц или времени снижения концентрации частиц в 100 раз после введения загрязнений в чистое помещение.

Оба этих показателя могут быть определены по кривой снижения концентрации частиц.

На оси ординат откладываются значения концентрации частиц в логарифмическом масштабе, а время – на оси абсцисс в линейном масштабе.

Концентрация частиц не должна быть слишком большой,чтобы избежать неопределенности результатов.

Примечание – Рекомендуется проводить экспериментальную оценку соотношения 100:1.

B.12.3 Методика определения времени восстановления

B.12.3.1 Определение времени восстановления в соотношении 100:1

Непосредственное определение времени восстановления в соотношении 100:1 возможно, если может быть установлена начальная концентрация частиц не менее чем в 100 раз превышающая заданный уровень чистоты.

Следует принять меры предосторожности от ошибки совпадения и загрязнения оптической системы счетчика частиц. Перед началом работы следует определить концентрацию, необходимую для проведения испытания в соотношении 100:1. Если это значение превышает возможности счетчика частиц по критерию ошибки совпадения, то следует применить разбавитель для уменьшения концентрации частиц или вместо испытания на время восстановления в соотношении 100:1 провести испытание на интенсивность восстановления (см. B.12.3.2).

a) Устанавливают счетчик частиц в соответствии с инструкцией изготовителя и сертификатом калибровки.
b) Устанавливают пробоотборник счетчика в контрольную точку. Точки отбора проб и число отбираемых проб определяются соглашением между заказчиком и исполнителем.
c) Объем отбираемой пробы должен быть таким же,что и при определении класса чистоты. Время задержки счетчика от начала каждого счета до получения результатов должно быть установлено на величину не более 10с.
d) Размер частиц должен быть менее 1мкм. Рекомендуется использовать канал соответствующий максимальной концентрации частиц.
e) Контроль должен выполняться при работающей системе вентиляции и кондиционирования.
f) Увеличивают начальную концентрацию частиц так, чтобы она не менее чем в 100 раз превышала заданное значение для данного класса чистоты.
g) Начинают счет частиц с интервалом 1мин. Отмечают время, при котором концентрация частиц будет в 100 раз превышать заданное значение для данного класса чистоты (t100n).
h) Отмечают времяtn,когда концентрация частиц достигнет заданного значения для данного класса чистоты.
i) Время восстановления 100:1 должно быть равноt0,01=(tn – t100n).

B.12.3.2 Определение скорости восстановления

Скорость восстановления может быть определена по наклону кривой концентрации частиц для требуемого класса чистоты (см. ИСО 14644-1):

a) Строят график снижения концентрации частиц на координатной сетке, на оси абсцисс которой отложено время, а на оси ординат- концентрация частиц в логарифмическом масштабе;
b) Скорость восстановления определяется по наклону кривой.

Скорость восстановления между двумя точками измерений рассчитывают по формуле

                                                                              (B.12)

где n – скорость восстановления чистоты;

t1 – время, прошедшее между первым и вторым измерениями;

C0 – начальная концентрация;

C1 = C0exp(-nt1) – концентрация в момент времени t1.

Следует получить среднее значение результатов измерений (от пяти до десяти измерений). Соотношение скорости восстановления и времени восстановления 100:1 описывает формула

                            (B.13)

B.12.4 Используемое оборудование

B.12.4.1 Генератор аэрозолей и аэрозоль,которые имеют такие же характеристики, как в B.6.

B.12.4.2 Дискретный счетчик частиц, имеющий эффективность, согласно C.1 и C.6 (приложение C).

B12.4.3 Система разбавления (при необходимости)по C.12.3 (приложение C).

B.12.5 Протокол испытаний

По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протоколе испытаний указывают следующее:

a) тип каждого прибора с указанием данных о калибровке;
b) число и расположение контрольных точек;
c) состояние чистого помещения.

B.13 Испытание герметичности ограждающих конструкций

B.13.1 Общие положения

Испытание герметичности ограждающих конструкций выполняется для того, чтобы обнаружить возможное проникание загрязненного воздуха в чистые зоны из окружающих помещений с тем же или отличающимся уровнем давления воздуха.

B.13.2 Методики испытания герметичности ограждающих конструкций

B.13.2.1 Испытание с использованием дискретного счетчика частиц

Следует определить концентрацию частиц в воздухе за пределами чистого помещения непосредственно вблизи поверхности или двери, которые являются предметом испытания. Концентрация должна быть не менее концентрации частиц в чистом помещении в 103 раз и составлять, по крайней мере 3,5·106 частиц/м3 для частиц заданных размеров. Если концентрация частиц не менее установленного значения, то следует использовать генератор аэрозолей для достижения требуемого уровня загрязнений.

Для определения утечек внутрь чистого помещения сквозь соединения или щели следует сканировать ограждающие конструкции изнутри чистого помещения на расстоянии не более 5 см от места соединения,герметизации или границы между поверхностями со скоростью сканирования примерно 5 см/с.

Чтобы проверить проникание загрязненного воздуха через открытую дверь, рекомендуется применить методы визуализации.

Следует занести в протокол и оформить все значения концентрации частиц, превышающие в 102 раз первоначальную концентрацию частиц в чистом помещении, для заданных размеров частиц.

Примечание – Расположение и число контрольных точек определяются соглашением между заказчиком и исполнителем.

B.13.2.2 Использование фотометра

Следует создать концентрацию загрязнений в воздухе за пределами чистого помещения или оборудования в соответствии с B.6.2.1 до уровня, превышающего максимальное показание на шкале фотометра 0,1 %.

Утечка имеет место, если показание фотометра при установленной шкале 0,1 % превышает 0,01 %.

Для определения утечек внутрь чистого помещения сквозь соединения или щели следует сканировать ограждающие конструкции изнутри чистого помещения на расстоянии не более 5 см от места соединения, герметизации или границы между поверхностями со скоростью сканирования примерно 5 см/с.

Чтобы проверить проникание загрязненного воздуха через открытую дверь, следует определить концентрацию частиц в воздухе на расстоянии от 0,3 до 1,0 м от открытой двери.

Следует документально оформить все значения, превышающие 0,01 % по шкале фотометра.

B.13.3 Оборудование для испытания герметичности ограждающих конструкций

При испытании герметичности применяется следующее оборудование.

B.13.3.1 Источник искусственных аэрозолей согласно B.6.5.

B.13.3.2 Счетчик частиц согласно C.1 (приложение C) или фотометр согласно C.6.1 (приложение C), которые имеют минимальный пороговый размер частиц не более 0,5 мкм;

Приборы должны иметь действующий сертификат калибровки.

B.13.4 Протокол испытаний

По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протоколе испытаний указывают следующее:

a) тип приборов и данные об их калибровке;
b) метод сбора данных;
c) расположение контрольных точек;
d) состояние чистого помещения.

Приложение C
(справочное)

Оборудование для проведения испытаний

В настоящем приложении установлены требования к из мерительному оборудованию, которое применяется при использовании рекомендованных методов, приведенных в настоящем стандарте.

В таблицах C.1 – C.29 приведены минимально необходимые требования для каждого вида оборудования. Все виды оборудования перечислены и пронумерованы в соответствии с приложением B, т.е. прибор под номером C.1 используется в методе испытаний (контроля),описанном в В.1.Лица, ответственные за планирование испытаний, могут обратиться к приложению A, в котором приведены рекомендуемые методы,средства измерений и последовательность испытаний, а затем к приложению C, где указано оборудование, необходимое для этих испытаний. Измерительное оборудование должно быть выбрано в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем.

Это приложение является справочным и не должно препятствовать использованию улучшенных видов оборудования, если таковые имеются. Альтернативные виды измерительного оборудования могут быть использованы по соглашению между заказчиком и исполнителем.

C.1 Определение концентрации аэрозольных частиц при классификации и аттестации

C.1.1 Дискретный счетчик частиц, в основе работы которого лежит принцип рассеяния света – это прибор, позволяющий проводить счет отдельных взвешенных в воздухечастиц, определять их размер и выдавать данные о размере частиц, под которым понимается эквивалентный оптический диаметр.

Таблица C.1 – Требования к параметрам дискретного счетчика частиц, работающего на принципе светорассеяния

Параметр	Значение/характеристика
Чувствительность/разрешение, мкм	От 0,1 до 5 с разрешением размера не более 10 %
Ошибка счета погрешность, %	±20 значения концентрации частиц
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Эффективность счета, %	(50 ± 20) при минимальном пороговом размере и (100 ± 10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер
Нижний предел концентрации	Частота ложных срабатываний счетчика незначительна по сравнению с действительно ожидаемой минимальной скоростью счета. Низкая скорость счета должна быть равна нулю частиц за определенное время (например, ни одной частицы за 5 мин.)
Верхний предел концентрации	В два раза больше, чем предельная концентрация для данного класса чистоты чистого помещения, но не превышает 75 % максимальной концентрации, рекомендованной изготовителем
Если счетчик имеет разрешение размера частицы более 10 %, то это может привести к изменению значения счета частиц на порядок.

C.2 Определение концентрации ультра мелких аэрозольных частиц

C.2.1 Счетчик ядер конденсации – дискретный счетчик частиц, который считает все капельки,образуемые при конденсации пересыщенного пара на частицах пробы. Измеряется суммарная концентрация всех частиц, размеры которых не менее минимального размера, определяемого чувствительностью счетчика.

Таблица С.2 – Требования к счетчику ядер конденсации

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3	Концентрация до 3,5·109
Чувствительность/разрешение, мкм	Зависит от применения; например 0,02
Ошибка счета погрешность, %	±20 при минимальном пороговом размере
Стабильность счета	Может зависеть от типа окружающего газа
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Нижний предел по концентрации	Частота ложных срабатываний счетчика незначительна по сравнению с действительно ожидаемой минимальной скоростью счета
Примечание – Эффективность счета приведена на рисунке B.1.

C.2.2 Дискретный счетчик частиц- прибор, позволяющий определять размер и проводить счет отдельных аэрозольных частиц с учетом их размера, включая те, которые определены как ультрамелкие.

Таблица C.3 – Требования к дискретному счетчику частиц

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3	Концентрация частиц до 3,5·107
Чувствительность/разрешение, мкм	Меньше чем 0,1 с разрешением размера ≤ 10 %
Ошибка счета погрешность, %	±20 величины концентрации
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Эффективность счета, %	(50 ± 20) при минимальном пороговом размере и (100 ± 10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер
Примечание – Эффективность счета приведена на рисунке B.1.

C.2.3 Устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц – устройство, через которое проходит проба воздуха, и которое прикрепляется к входному отверстию пробоотборника счетчика ультрамелких частиц. Оно устраняет частицы с размерами,меньшими заданного. Примером таких устройств являются секции диффузионных батарей и виртуальный импактор.

Таблица C.4 – Требования к устройству,ограничивающему пропускание мелких частиц

Параметр	Значение/характеристика
Ошибка счета погрешность, %	Удаляется (50 ± 10) частиц установленного размера
Периодичность калибровки, мес	Различная для разных типов устройств, но не менее 12
Скорость пробоотбора, %	Скорость потока через устройство должна быть постоянной ±10, и при этом не менее скорости, требуемой для счетчика частиц

C.3 Определение концентрации аэрозольных макро частиц

С.3.1 Микроскоп для счета частиц, собранных на фильтровальной бумаге (см. ASTM F312 [4]).

C.3.2 Каскадный импактор – установка для сбора и накопления частиц, в которой поток пробы воздуха проходит с постоянной скоростью через ряд отверстий, уменьшающихся диаметров, и попадает на накопительные поверхности. С увеличением скорости потока через каждую ступень каскада уменьшается размер частиц, собираемых на накопительных поверхностях для их последующего счета или взвешивания.

Таблица C.5 – Характеристика для каскадного импактора

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений	Скорость отбора проб должна быть заданной
Чувствительность/разрешение	Субмикронные частицы могут быть накоплены при низком давлении
Точность, %	Точность ограничения размера на каждой ступени каскада не менее 90
Линейность	Осаждается значительное число частиц с размерами значительно отличающимися от установленного
Стабильность	Размер частиц с 50 %-ным пропусканием зависит от скорости отбора проб
Постоянная времени	Минуты или дни (в зависимости метода измерения)
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

C.3.3 Дискретный счетчик макро частиц – дискретный счетчик частиц, позволяющий измерять размер и проводить счет (если это необходимо) отдельных взвешенных в воздухе макро частиц.

Таблица C.6 – Требования к дискретному счетчику макро частиц

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3	Концентрация не более 1,0·106
Чувствительность/разрешение, мкм	От 5 до 80 с разрешением 20 %
Ошибка погрешность, %	Погрешность определения размера ±5
Линейность	Изменятся в зависимости от состава и формы частиц
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Эффективность счета, %	(50 ± 20) при минимальном пороговом размере и (100 ± 10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер

C.3.4 Время пролетный счетчик частиц – прибор, позволяющий производить счет дискретных частиц и определять их размер. Определение аэродинамического диаметра частиц происходит путем измерения времени, необходимого частице для изменения своей скорости в ответ на изменение скорости воздуха. Это обычно происходит путем измерения оптическими средствами времени пролета частицы после изменения скорости потока воздуха.

Таблица C.7 – Требования к время пролетному счетчику частиц

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3	Концентрация частиц не более 1,0-107
Чувствительность/разрешение, мкм	От 0,5 до 20 с 10 %-ным разрешением
Ошибка погрешность, %	± 5 калиброванного размера
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Эффективность счета, %	(50 ± 20) при минимальном пороговом размере и (100 ± 10) для частиц, размер которых не менее чем в 1,5 раза превышает минимальный пороговый размер

C.3.5 Каскадный импактор с пьезоэлектрическим взвешиванием – установка для сбора и накопления частиц, в которой поток пробы воздуха проходит с постоянной скоростью через ряд отверстий, уменьшающихся диаметров, и попадает на накопительные поверхности,масса которых на каждой ступени каскада измеряется в процессе накопления с помощью пьезоэлектрических кварцевых датчиков микровесов.

Таблица C.8 – Требования к каскадному импакторус пьезоэлектрическим взвешиванием

Параметр	Значение/характеристика
Чувствительность/разрешение, мкм	Частицы размером от 5 до 50 могут быть накоплены при низких давлениях
Линейность	Осаждается значительное количество частиц с размерами значительно большими и меньшими, чем заданный
Стабильность	Размер частиц, пропускаемых каждой ступеней каскада, изменяется в зависимости от скорости отбора проб
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Минимальная чувствительность накопления частиц, мкг/м3	10 – для частиц с удельной массой, равной двум

C.4 Контроль потока воздуха

C.4.1 Измерение скорости воздуха

C.4.1.1 Термоанемометр – определяет скорость воздуха путем измерения изменения теплопередачи маленького электрически нагреваемого датчика, помещенного в воздушный поток.

Таблица C.9 – Требования к термоанемометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м/с	От 0,1 до 1,0 в системах чистого воздуха, от 0,5 до 20 в воздуховодах
Чувствительность/разрешение, м/с	0,05 (или как минимум 1 % полной шкалы)
Погрешность, %	±5 значения ±0,1 м/с
Время отклика, с	Меньше 1 при 90 % от полной шкалы
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Чувствительность и точность – (см. ИСО 7726). Характеристики прибора должны быть скорректированы при изменении температуры и атмосферного давления.

C.4.1.2 Трехмерный ультразвуковой анемометр или эквивалентный – определяет скорость звука путем измерения сдвига частоты звука (изменения скорости звука) между выбранными точками в контролируемом потоке воздуха.

Таблица C.10 – Требования к трехмерному ультразвуковому анемометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы / диапазон измерений, м/с	От 0 до 1 в системе чистого воздуха
Чувствительность/разрешение, м/с	0,01
Погрешность, %	±5 от полученного значения
Постоянная времени, с	Менее 1
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

C.4.1.3 Крыльчатый анемометр – определяет скорость воздуха путем измерения скорости вращения крыльчатки анемометра.

Таблица C.11 – Требования к крыльчатому анемометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м/с	От 0,2 до 1,0
Чувствительность/разрешение, м/с	0,1
Погрешность, %	0,2 м/с или ±5 % (берется большее значение)
Постоянная времени, с	Менее 10 при 90 % полной шкалы
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

C.4.1.4 Трубка Пито и манометр (цифровой) – измеряет скорость звука путем измерения разности полного и статического давления в определенной точке воздушного потока с помощью электрического цифрового манометра.

Таблица C.12 – Требования к трубке Пито иманометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м/с	Не менее 1,5
Чувствительность/разрешение, м/с	0,5
Погрешность, %	±5 полученного значения
Постоянная времени, с	Менее 10 при 90 % полной шкалы
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

C.4.2 Измерители потока воздуха

C.4.2.1 Расходомер с раструбом – применяется для измерения суммарного расхода воздуха через сечение, где скорость потока может варьироваться. Весь воздушный поток собирается и распределяется в точке измерений таким образом, что скорость в этой точке соответствует средней скорости по поперечному сечению.

Таблица C.13 – Требования к расходомеру с раструбом

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, м3/час	От 50 до по крайней мере 1700
Погрешность, %	±5 значения
Постоянная времени, с	Менее 10 при 90 % полной шкалы
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Пределы измерений и разрешение зависят от размеров используемого кожуха.

C.4.2.2 Измерение отверстий – в соответствии сИСО 5167-2 [20].

C.4.2.3 Трубка Вентури – в соответствии с ИСО 5167-4 [22].

C.5 Измерение перепада давления

C.5.1 Электронный микроманометр – используется для определения разности давлений путем измерения изменения электростатической емкости или электронного сопротивления, отражающих перемещение диафрагмы.

Таблица C.14 – Требования к электронному микроманометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений	От 0 до 100 Па для типичного малого диапазона; От 0 до 100 кПа для типичного большого диапазона
Чувствительность/разрешение	1 ± 0,1, от 0 до 100
Погрешность, %	±1,5 полной шкалы для диапазона от 0 до 100 Па, ±1 от полной шкалы для диапазона от 0 до 100 кПа

C.5.2 Наклонный манометр – используется для определения разности давлений между двумя точками путем визуального считывания показаний наклонной шкалы, отражающей высоту гидростатического напора в трубке манометра, заполненной такими жидкостями как вода или спирт.

Таблица C.15 – Требования к наклонному манометру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений	От 0 до 0,3 кПа или от 0 до 1,5 Па
Чувствительность, Па	1 Па для диапазона от 0 до 0,3 кПа
Погрешность, %	±3 для диапазона от 0 до 0,3 кПа
Амплитуда шкалы	От 2 до 10 для диапазона от 0 до 0,3 кПа

C.5.3 Механический датчик перепада давления – используется для определения разности давлений в двух точках путем измерения величины передвижения стрелки,соединенной механическим или магнитным приводом с диафрагмой и отражающей ее перемещение.

Таблица C.16 – Требования к механическому датчику перепада давления

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений	От 0 до 50 Па для типичного малого диапазона От 0 до 50 кПа для типичного большого диапазона
Чувствительность/разрешение, Па	0,5 для диапазона от 0 до 50
Погрешность, %	±5 от полной шкалы для диапазона от 0 до 50 Па, ±2,5 от полной шкалы для диапазона от 0 до 50 кПа

C.6 Контроль целостности установленной системы фильтрации

C.6.1 Фотометры аэрозолей

C.6.1.1 Линейный фотометр аэрозолей – прибор, использующийся для измерения массовой концентрации аэрозоля в мг/л. Фотометр работает на принципе рассеяния вперед.Прибор может быть использован для прямых измерений нарушения целостности фильтра.

Таблица C. 17 – Характеристика для линейного фотометра аэрозолей

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, мкг/л:	От 0,001 до 100
Чувствительность/разрешение, мкг/л	0,001
Погрешность, %	±5
Линейность, %	±0,5
Стабильность, мкг/л в минуту	± 0,002
Постоянная времени	От 0 до 90 % при испытании не более 30 с, от 100 мкг/л до 10 г/л при испытании не более 60 с
Периодичность калибровки	12 мес или после 400 часов работы, в зависимости от того, что произойдет раньше
Длина трубки пробоотборника, м	Не более 4
Индикация	Цифровая или аналоговая
Размер частиц	Превышает диапазон измерений от 0,1 до 0,6 мкм
Расход воздуха при отборе проб, л/мин	28 ± 3
Минимальный размер для испытаний, мм	4,8 в диаметре
Размеры пробоотборника	По B.6.2.3

С.6.1.2 Логарифмический фотометр аэрозолей – прибор, используемый для измерения массовой концентрации аэрозоля в мкг/л. Фотометр работает на принципе рассеяния вперед.Прибор не может быть использован для прямых измерений нарушения целостности фильтра.

Таблица C.18 – Характеристика для логарифмического фотометра аэрозолей

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, мкг/л	От 0,01 до 100
Чувствительность/разрешение, мкг/л	0,001
Погрешность, %	±5
Стабильность, мкг/л в минуту	±0,002
Постоянная времени	От 0 % до 90 % при испытании не более 60 с, от 100 мкг/л до 10 г/л при испытании не более 90 с
Периодичность калибровки, мес	Через 12 месяцев или после 400 часов работы, в зависимости оттого, что произойдет раньше
Длина трубки пробоотборника, м	Не более 4
Размер частиц	От 0,1 до 0,6 мкм превышает диапазон измерений
Расход воздуха при отборе проб	Номинальный расход ±15 %
Размеры пробоотборника	По B.6.2.3

C.6.2 Дискретный счетчик частиц – в соответствии с C.1.1.

C.6.3 Генератор аэрозолей – может генерировать частицы с размерами, лежащими в установленном диапазоне (например, от 0,05 до 2 мкм), с постоянной концентрацией за счет теплового, гидравлического, пневматического,акустического и электростатического эффектов.

C.6.4 Вещества для генерирования контрольных аэрозолей – инертные вещества для распыления в виде аэрозоля, в жидкой или твердой фазе.

Используют, наиболее типичные,следующие вещества:

a) Поли-альфа-олефиновое(poly-alphaolefin – РАО) масло 1),4 сантистокса (например, CAS# 68649-12-72))
b) Диоктилсебацинат(dioctyl sebacate – DOS).
c) Ди-2-этилгексилсебацинат (di-2-ethylhexylsebacate – DEHS).
d) Диоктил(2-этилгексил)фталат(dioctyl (2-ethyl hexyl) phtalat – DOP3)) (например, CAS # 117-81-7) .
e) ШеллОндина- минеральное масло пищевого качества (например, CAS # 8042-47-5).
f) Парафиновое масло (например, CAS # 64742-46-7).
g) Полистириловый латекс (polystyrene latex – PSL).

1) Патент США 5,059,349 [26]и 5,059,352 [27]содержится описание и ограничения на использование РАО для проверки фильтров.

2) CAS #, регистрационный номер в Chemical Abstract Service, т. е. вещество зарегистрировано в Chemical Abstract Американского Химического Общества [14].

3)В некоторых странах DOP для тестирования фильтров не применяется из соображений безопасности.

C.6.5 Система разбавления – оборудование, в котором аэрозоль с целью уменьшения его концентрации смешивается с чистым воздухом в известном объемном соотношении(1:10, 1:100).

C.7 Определение направления потока воздуха, визуализация потока

C.7.1 Оборудование и материалы для определения направления потока воздуха и визуализации – приведено в таблицах C.19 и C.20.

ТаблицаC.19 – Материалы и частицы, используемые для визуализации воздушного потока

Материал или оборудование	Характеристика
Материалы, используемые в методе нитей	Шелковая нить, ткань и пр.
Частицы, используемые в методе введения частиц	Деионизованная вода или другое распыляемое вещество с диаметром частиц от 0,5 до 50 мкм
Устройства, записывающие картину визуализации потоков воздуха или трассирования частиц	Фотоаппараты, видеокамеры, в т. ч. имеющие высокоскоростные, стробоскопические или синхронизирующие функции и средства видеозаписи, используемые в методах визуализации
Примечание – После визуализации воздушного потока, как правило, требуется провести повторную чистку помещения.

ТаблицаC.20 – Источники света для визуализации воздушного потока

Оборудование	Характеристика
Различные источники света для создания контрастной картины или визуализации потоков воздуха	Вольфрамовые, флуоресцентные, галогеновые, ртутные лампы, лазерные источники света (гелий-неоновые, на ионах аргона, алюминиево-иттриевом гранате и пр.) со стробоскопическими устройствами для записи или без них
Устройства видеозаписи для количественной оценки при визуализации потоков	Метод записи лазерного луча на пластину, состоящий из лазера высокой мощности (аргонового или на алюминиево-иттриевом гранате), оптические устройства с цилиндрическими линзами и контроллером для визуализации в двухмерном изображении

C.7.2 Термоанемометр – в соответствии с C.4.1.1.

C.7.3 Трехмерный ультразвуковой анемометр – в соответствии с C.4.1.2.

C.7.4 Генератор аэрозолей

Генератор аэрозолей для визуализации потока может быть таким же как описано C.6.3. Ниже приведены примеры генераторов частиц и ультразвуковых распылителей.

C.7.4.1 Ультразвуковой распылитель – прибор,используемый для генерирования аэрозолей (тумана), получаемых путем воздействия сфокусированной звуковой волны на жидкость (например, деионизованной воды), в результате чего образуются мелкие капельки.

Таблица C.21 – Требования к ультразвуковому распылителю

Параметр	Значение/характеристика
Диапазон размеров частиц (капелек), мкм	Например, от 6 до 9, или от 30 до 70а) (MMD)
Концентрация суспензии г/см3 или мл/мин	От 70 г/см3 до 150 г/см3 или от 1 мл/мин до 6 мл/мин
а) Диапазон размеров зависит от частоты ультразвука, например при 1 МГц: от 6 мкм до 9 мкм.

C.7.4.2 Генератор тумана -прибор, используемый для генерирования аэрозолей (тумана), получаемых за счет фазового перехода газ-жидкость при охлаждении пара кипящей жидкости.

Таблица C.22 – Требования к генератору тумана

Параметр	Значение/характеристика
Диапазон размеров частиц (капелек), мкм	От 1 до 10 (MMD)
Скорость генерации частиц, г/мин	От 1 до 25 включ.

C.8 Измерение температуры

C.8.1 Стеклянный термометр

C.8.2 Термометр

C.8.3 Измеритель температуры с термо сопротивлениями

C.8.4 Термистор

C.9 Измерение влажности

C.9.1 Гигрометр емкостной

C.9.2 Гигрометр волосковый

C.9.3 Датчик точки росы

C.9.4 Психрометр

C.10 Измерение статического электричества и генерирования ионов

C.10.1 Электростатический вольтметр – прибор,используемый для измерения среднего напряжения (потенциала) на маленькой площадке путем измерения напряженности электрического поля на электроде внутри пробника через маленькую диафрагму в пробнике.

Таблица C.23 – Требования к прецизионному электростатическому вольтметру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, кВ	От -3 до 3
Чувствительность/разрешение	Площадка диаметром 0,8 мм, 0,3 В (эффективное напряжение) или 2 В (p-p)
Погрешность, %	0,1
Постоянная времени, мс	Не более 4 (от 10 % до 90 %)
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

Таблица C.24 – Требования к ручному электростатическому вольтметру или электростатическому измерителю поля

Параметр	Характеристика
Пределы/диапазон измерений, кВ/см	±10
Погрешность, %	±5 результата измерений или ±0,01 кВ
Постоянная времени, с	Меньше чем 2 для напряжения от 0 до +5 кВ
Периодичность калибровки, мес	Не более 12

C.10.2 Высокоомный омметр – прибор, используемый для измерения сопротивления изолирующих материалов и компонентов путем регистрирования тока утечки от устройства под высоким напряжением к испытуемому устройству.

Таблица C.25 – Требования к высокоомному омметру

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, Ом	От 1 Ом до 3·109 Oм
Погрешность, %	±5 полной шкалы измерений
Постоянная времени, мс	От 10 до 390
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Напряжение при контроле, В	От 0,1 до 1000, постоянное
Максимальный входной ток, мА	Не более 10
Максимальный выходной ток, мА	10 при < 100 В, 5 при < 250 В, 2 при < 500 В, 1 при < 1000 В

C.10.3 Регистратор заряда пластины – устройство для измерения нейтрализационной способности ионизаторов и ионизационных установок.

Таблица C.26 – Требования к регистратору заряда пластины

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, кВ	От – 5 до + 5
Погрешность, %	±5 полной шкалы измерений
Постоянная времени, с	0,1
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Изоляционные свойства, %	Самопроизвольная разрядка менее 10 % за 5 минут при 40 %-ной относительной влажности и менее чем 200 ионов/см3
Емкость пластины, пФ	20 ± 2
Размер пластины, мм	150´150
Зарядка, кВ	Не менее 1 для каждой полярности, ток ограничен

C.11 Исследование осаждения частиц

C.11.1 Фотометр для осажденных частиц (седиментометр) – прибор для измерения всего рассеянного света от частиц, осевших на темные стеклянные накопительные пластинки, и представляет эти данные как коэффициент седиментации, который связан с концентрацией частиц, которые могли бы осесть на критические поверхности.

Таблица C.27 – Требования к фотометру для осажденных частиц (седиментометра)

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, %	Не более 0,5 площади
Периодичность калибровки, мес	Не более 12
Средства калибровки, мкм	Флуоресцирующие частицы размером 4 и 10

C.11.2 Счетчик частиц на поверхности – измеряет количество (размер) дискретных частиц,осевших на поверхности, в основе работы лежит эффект рассеяния света.

Таблица C.28 – Требования к счетчику частиц на поверхности

Параметр	Значение/характеристика
Пределы/диапазон измерений, мкм	От 0,1 до 5,0 не более 10 % разрешения в зависимости от размера

C.11.3 Генератор полистироловых латексных частиц

Установка для производства сферических моно дисперсных полистироловых латексных частиц путем распыления жидкой суспензии с помощью сжатого воздуха. Полистироловые латексные частицы могут использоваться для калибровки дисперсных счетчиков частиц и другого оборудования с селекцией по размеру частиц, такого, например, как каскадные импакторы.

ТаблицаC.29 – Требования к генератору полистироловых латексных частиц

Параметр	Значение/характеристика
Диапазон размеров частиц, мкм	Обычно от 0,1 до 2
Концентрация суспензии, г/см3	До 107
Концентрация на выходе, частиц/л	От 300 до 30000 включ.
Давление воздуха при распылении	Например 177 кПа; 120 л/час

C.12 Измерение времени восстановления

C.12.1 Дискретный счетчик частиц – в соответствии с C.1.1.

C.12.2 Генератор аэрозолей – в соответствии с C.6.3.

C.12.3 Система разбавления – в соответствии с C.6.5.

C.13 Испытание герметичности ограждающих конструкций

C.13.1 Дискретный счетчик частиц – в соответствии с C.1.1.

C.13.2 Генератор аэрозолей – в соответствии с C.6.3.

C.13.3 Система разбавления – в соответствии с C.6.5.

C.13.4 Фотометр – в соответствии с C.6.1.

Приложение D
(справочное)

Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Федерации ссылочным международным стандартам

Обозначение ссылочного международного стандарта	Обозначение и наименование соответствующего национального стандарта
ИСО 5167-1:2003	*
ИСО 5167-2:2003	*
ИСО 5167-3:2003	–
ИСО 5167-4:2003	–
ИСО 7726:1998	–
EH 12599:2000	–
ИСО 14644-1:1999	ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ИСО 14644-2:2000	ГОСТ Р ИСО 14644-2-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1
ИСО 14644-4:2001	ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию
ИСО 14644-5:2004	ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
* Соответствующий национальный стандарт отсутствует. До его утверждения рекомендуется использовать перевод на русский язык данного международного стандарта. Перевод данного международного стандарта находится в Федеральном информационном фонде технических регламентов и стандартов.

Библиография

[1] ASME N510-1989	Testing of Nuclear Air-Treatment Systems. Fairfield, New Jersey, US: American Society of Mechanical Engineers
[2] ASTM F24-00	Standard Method for Measuring and Counting Particulate Contamination on Surfaces. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[3] ASTM F50-92 (2001) e1	Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instrument Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[4] ASTM F312-97 (2003)	Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from Aerospace Fluids on Membrane Filters. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[5] ASTM F328-98 (2003)	Standard Practice for Calibration of an Airborne Particle Counter Using Monodisperse Spherical Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[6] ASTM F1471-93 (2001)	Standard Test Method for Air Cleaning Performance of a High-Efficiency Particulate Air-Filter System. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[7]	Chemical Abstracts Service Registry, Columbus, Ohio, US: American Chemical Society
[8] EN 1822-2:1998	High efficiency air filters (HEPA and ULPA) – Part 2: Aerosol production, measuring equipment, particle counting statistics
[9] EN 1822-4:2000	High efficiency air filters (HEPA and ULPA) – Part 4: Determining leakage of filter element (scan method)
[10] EN 12599:2000 V	Ventilation for buildings Test procedures and measuring methods for handing over installed ventilation and air conditioning systems
[11] IEST-G-CC1001:1999	Counting Airborne Particles for Classification and Monitoring of Cleanrooms and Clean Zones. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[12] IEST-G-CC1002:1999	Determination of the Concentration of Airborne Ultrafine Particles. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[13] IEST-G-CC1003:1999	Measurements of Airborne Macroparticles. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[14] IEST-RP-CC001.3:1993	HEPA and ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[15] IEST-RP-CC006.3:2004	Testing Cleanrooms. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[16] IEST-RP-CC007.1:1992	Testing ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[17] IEST-RP-CC021.1:1993	Testing HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Science and technology
[18] IEST-RP-CC034.2:1999	HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[19] ISO 5167-1:2003	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full – Part 1: General principles and requirements
[20] ISO 5167-2:2003	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full – Part 2: Orifice plates
[21] ISO 5167-3:2003	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full – Part 3: Nozzles and Venturi nozzles
[22] ISO 5167-4:2003	Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in circular cross-section conduits running full – Part 4: Venturi tubes
[23] JACA No.24:1989	Standardization and Evaluation of Clean Room Facilities. Japan Air Cleaning Association
[24] JIS В 9921:1997	Light scattering automatic particle counter. Japanese Industrial Standards Committee
[25] SEMI E14-93	Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or support tool. San Jose, California, US: SEMI (1997)
[26] US Patent 5,059,349	Method of measuring the efficiency of gas mask filters using monodispersed aerosols
[27] US Patent 5,059,352	Method for the generation of monodispersed aerosols for filter testing
[28] VDI 2083 Part 4:1996	Cleanroom technology – Surface cleanliness. Berlin: Beuth Verlag GmbH

Справочник